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本发明公开了一种遮罩存放与基板输送室。所述遮罩存放与基板输送室包括第一空间部、第二空间部、遮罩存放单元以及移动单元。所述第一空间部的侧部具有门，基板或遮罩通过所述门进出。所述第二空间部连接到所述第一空间部。所述遮罩存放单元内堆叠有多个遮罩。...
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