【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种表面高反薄板材厚度测量装置，包括钢架底座、平台、工件承载台、X轴、横梁、上接触式测头、Z轴、Y轴、下接触式测头和下测头安装座，其特征在于，所述的平台设在钢架底座上，工件承载台设在平台上，Y轴固定在工件承载台与平台之间，横梁固定在平台上、与Y轴运动方向相互垂直，X轴固定在横梁上，Z轴及其动板设在横梁的上横条上，上接触式测头固定在Z轴动板上，下接触式测头通过下测头安装座固定在横梁的下横条上；所述的接触式测头包括探针、弹性装置、方形空气导轨、空气导轨进气座、激光位移传感器、顶板、光栅尺、空气导轨导芯供气接头、测头安装座、测头安装底板和底板，所述的方形空气导轨安装在测头安装底板上，探针连接方形空气导轨导芯的下端、贯穿底板，导芯下端与底板之间设有弹性装置，空气导轨进气座设在方形空气导轨的上方，激光位移传感器设在空气导轨进气座的上方，与传感器相连接的数据线贯穿顶板，光栅尺设置在激光位移传感器的左侧，空气导轨导芯供气接头设在空气导轨进气座的左侧、连接进气座，测头安装座设在测头安装底板的左侧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：夏发平，
申请(专利权)人：昆山允可精密工业技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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