【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板检查装置,其特征在于,包括:检查单元;与所述检查单元连接,用于传送已制作完成的基板和未制作完成的基板的基板传送装置,其中,所述基板传送装置包括传送主体,设置于所述传送主体上方的存储装置,所述传送主体上设置有多个导孔,在所述传送主体下方对应所述导孔设置有具有可伸缩机械臂的搬运装置,所述机械臂可以穿过所述导孔并可沿传送方向运动;与所述基板传送装置连接,用于传送已制作完成的基板至所述检查单元的至少一个第一传送单元;以及与所述基板传送装置连接,用于传送未制作完成的基板至所述检查单元的至少一个第二传送单元。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王野,李圭铉,余道平,古成,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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