一种单片压敏电阻阀片内部的电流分布均匀性测试方法技术

本发明专利技术涉及一种单片压敏电阻阀片内部的电流分布均匀性测试方法，属于电工材料技术领域。首先对ZnO压敏电阻阀片的上下表面研磨抛光，通过光刻与溅射得到微电极阵列；将其下表面与一块薄铅板贴合，将上表面均匀划分为若干等面积的单元，用微探针接触任意一个单元面积上的各银电极；在与下表面接触的薄铅板和与上表面接触的探针或薄铅板之间施加连续变化电压，测量对应的电流，得到以电流密度为横坐标、电场强度为纵坐标的伏安特性曲线，从中按一定规则选取对应的电流密度值，求取ZnO压敏电阻阀片的电流不均匀度。本发明专利技术方法可以有效评估氧化锌压敏阀片内部结构与性能的均匀性，以测试研究电流分布均匀性对氧化锌工作特性的影响。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种单片压敏电阻阀片内部的电流分布均匀性测试方法，其特征在于该方法包括以下步骤：（1）对厚度为d、上下表面积各为A的ZnO压敏电阻阀片的上下表面进行抛光，使ZnO压敏电阻阀片上下表面的粗糙度小于1微米；（2）采用光刻方法，将掩膜版的外形结构转移到上述抛光过的ZnO压敏电阻阀片上下表面，并采用真空镀膜方法，在ZnO压敏电阻阀片的上下表面分别沉积厚度为90～110纳米的微型银电极阵列；（3）将上述ZnO压敏电阻阀片的上表面均分为n个单元，每个单元的面积为s，用微探针接触任意一个单元面积上的各银电极，使一块薄铅板与ZnO压敏电阻阀片的下表面贴合，向微探针和薄铅板施加连续变化的电压，并分别测量与连续变...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：何金良，胡军，程晨璐，曾嵘，张波，余占清，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：