一种真空玻璃集热管溅射太阳光谱选择性吸收涂层制造技术

本实用新型专利技术是属于太阳能热利用的技术领域，特别是涉及一种真空玻璃集热管溅射太阳光谱选择性吸收涂层，其主要技术特征为：包括反射层、吸收层、减反层。吸收层由沉积在反射层上的介电质层及其外面的金属富集的介电质层构成；减反层由外表面的介电质层构成，即DMD结构。其特征是在同一个选择性吸收涂层中所述的介电质层是由铝氮或者铝氮氧成分中其中的一种构成。与现有的干涉或多层渐变结构的同类涂层相比，反应溅射镀膜速度快50%，生产效率高。耗电、耗气少，生产成本低。由于结构科学而简单，调试容易。具有强的干涉膜特性和高的光学及热学参数。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种真空玻璃集热管溅射太阳光谱选择性吸收涂层，由自内向外的反射层、吸收层、及减反层组成，反射层由低发射率的金属层构成，其特征是吸收层是：由沉积在反射层上的介电质层D及其外面的金属富集的介电质层M构成，减反层由外表面的介电质层D构成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：战余英，
申请(专利权)人：战余英，
类型：实用新型
国别省市：