【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电镀用阳极组件，其特征在于，包括：载板，载板包括第一表面和与第一表面相对的第二表面，所述载板内具有若干孔洞，所述孔洞的开口贯穿载板的第一表面；若干阳极，每个阳极位于相应的孔洞内；调节单元，所述调节单元穿过载板的第二表面与阳极的一端相连，并能使孔洞内的阳极沿孔洞延伸的方向移动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李红雷，徐小锋，
申请(专利权)人：南通富士通微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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