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一种电镀用阳极组件和电镀装置,其中,所述电镀用阳极组件包括:载板,载板包括第一表面和第一表面相对的第二表面,所述载板内具有若干孔洞,所述孔洞的开口贯穿载板的第一表面;若干阳极,每个阳极位于相应的孔洞内;调节单元,所述调节单元穿过载板的第二表...该专利属于南通富士通微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通富士通微电子股份有限公司授权不得商用。
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