光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法技术

一种光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法，该干涉仪包括：光源，小孔光阑，周期相同、方向相互正交的第一光栅、第二光栅的光栅板、具有两个小孔光阑和两个方形光阑的光阑板和探测器。利用本发明专利技术光栅剪切波像差检测干涉仪检测待测系统的波像差，可消除差分波前的待测系统几何光程误差，提高待测系统的波像差检测准确度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种光栅剪切波像差检测干涉仪，包括光源（1），沿该光源（1）光束传播方向依次是聚焦镜（2）、滤波小孔（3）、衍射光栅板（5）、光阑板（7）和二维光电传感器（9），所述的衍射光栅板（5）位于光栅位移台（6）上，所述的光阑板（7）置于光阑对准位移台（8）上，待测光学系统（4）置于所述的滤波小孔（3）和衍射光栅板（5）之间，所述的滤波小孔（3）位于聚焦镜（2）的后焦点上，并位于待测光学系统（4）的物方被测视场点上；所述的光阑板（7）位于待测光学系统（4）的后焦面上，所述的二维光电传感器（9）位于所述的待测光学系统（4）的像平面上；所述的滤波小孔（3）是直径小于待测光学系统（4）物方分辨率的通光圆孔，其直径小于0.5λ/NAo，其中NAo是待测光学系统（4）的物方数值孔径；所述的衍射光栅板（5）由周期T相同，光栅栅线沿Y方向的第一光栅（501）和光栅栅线沿X方向的第二光栅（502）组成，光栅周期T根据剪切率s、光源（1）的输出光的波长λ、待测光学系统（4）的像方数值孔径NA、二维光电传感器（9）的直径D和干涉条纹数目n按下式确定：T=λD2sDtan(arcsin(NA))-nλ≈λD2sDNA-nλ所述的光栅位移台（6）是将第一光栅（501）和第二光栅（502）分别移入待测光学系统（4）像方光路，并分别带动第一光栅（501）和第二光栅（502）进行沿X方向和沿Y方向的1/4光栅周期步进运动的二维位移台；所述的光阑板（7）由第一小孔光阑（701）、第二小孔光阑（704）和第一方形光阑（702）、第二方形光阑（703）组成，光阑板上第一排从左到右依次为第一小孔光阑（701）、第一方形光阑（702），第二排从左到右依次为第二方形光阑（703）、第二小孔光阑（704），第一小孔光阑的中心、第一方形光阑东的中心、第二小孔光阑的中心、第二方形光阑的中心的顺次连线为正方形；所述的光阑对准位移台（8）是将第一光栅或第二光栅的0级或1级衍射光的聚焦点与光阑板的第一小孔光阑（701）或第二小孔光阑（704）对准，将另一级衍射光的聚焦点通过光阑板上第一方形光阑（702）或第二方形光阑（703）的XYZ三维位移台。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李杰，唐锋，王向朝，戴凤钊，张敏，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：