【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种离子氮化炉,包括炉体(1)、炉底盘(9)、冷却装置和进气抽气系统,炉体(1)与炉底盘(9)扣合形成炉腔,其特征在于:炉腔内设置阴极盘(7),阴极盘(7)通过底盘支柱(11)连接炉底盘(9),阴极盘(7)上设置阴极工装(6)、阴极支柱(16),阴极盘(7)上方设置阴极盖板(3),阴极盖板(3)通过阴极支柱(16)支撑。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张春杰,刘超,
申请(专利权)人:滨州市东润机械有限公司,
类型:发明
国别省市:
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