【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种光扫描镜器件，其层叠地具有可动电极基板和固定电极基板，所述可动电极基板是在一片基板内形成至少一个反射镜、围绕在所述反射镜的外周的框部、为了使所述反射镜能够仅绕至少一个轴旋转而将所述反射镜和所述框构造一体地连接而形成的扭转梁、以及安装在所述反射镜的一部分上的可动电极而成的；所述固定电极基板与所述可动电极基板相对地配置，且所述固定电极基板由在一片基板内与所述可动电极相对地配置的固定电极构成，所述光扫描镜器件的特征在于，构成所述可动电极基板的所述可动电极是具有以所述一个轴为中心而轴对称地配置的至少一组悬臂梁的悬臂梁型可动电极，构成所述固定电极基板的所述固定电极包括相互电分离的吸附用固定电极和旋转控制用固定电极，所述吸附用固定电极将所述悬臂梁型可动电极的自由端侧的电极吸附并固定，所述旋转控制用固定电极吸附所述悬臂梁型可动电极来控制所述反射镜的旋转。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小出晃，保坂宪生，
申请(专利权)人：日立视听媒体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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