制作ZnO于堆叠太阳能硅薄膜以提高发电效率制造技术

本发明专利技术主要目的是制作ZnO于堆叠太阳能硅薄膜以提高发电效率。是把导电玻璃在PECVD制作非晶硅薄膜，随后进行本发明专利技术ZnO膜层制作，是利用Sputter将ZnO靶材进行溅镀，把ZnO镀在非晶硅薄膜上，最后放回到PECVD制作微晶硅薄膜及背电极，即完成此制程。本发明专利技术ZnO膜层制作在非晶硅与微晶硅薄膜中，制作出具高穿透性、高反射性、低折射率及高表面粗糙的ZnO薄膜，主要是当光从TCO玻璃入射后，先到达非晶硅薄膜，再到ZnO膜层时，光会透过ZnO穿透往微晶硅薄膜进入外，也可在ZnO作折射与反射，让更多的光在非晶硅薄膜吸收，以提高非晶硅薄膜的Jsc，此外当光从背电极作反射时，光也会在微晶硅与ZnO作折射，藉此当试片在经过光衰后，有稳定的效率，且有较低的衰退，以达到高发电效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
本专利技术主要目的是制作ZnO于堆叠太阳能硅薄膜以提高发电效率，其主要是把TCO玻璃先在PECVD腔体内制作非晶硅薄膜，随后则进行本专利技术ZnO膜层的制作，其是利用Sputter将ZnO靶材进行溅镀，把ZnO镀膜在非晶硅薄膜上，最后再放回到PECVD腔体内制作微晶硅薄膜，以及背电极，即完成此制程。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：戴嘉男，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：