【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种大功率场效应晶体管铝?金键合过渡片的制备方法,其特征在于,所述铝?金键合过渡片的制备方法步骤如下:(1)铝片材料的选择及清洗;选用一块面积为100~300mm2、厚度为0.3mm的纯度为99%的铝板,使用化学清洗的方法去除表面的颗粒物、氧化物等杂质,放入乙醇中用超声波进行清洗,再用去离子水冲洗;(2)将铝板的一面蒸上金;首先使用电子束蒸发台在铝板的一面蒸镀一层厚度为0.1μm左右的钛金属层,在此基础上蒸镀一层厚度为1.5~2.0μm的金层,构成金钛合金面;(3)合金化处理,将过渡片置于流量为700~1000mL/min的高纯氮氛围中,保持温度在500~520?℃,时间20±2分钟,对过渡片进行合金化处理,增强金层和铝的欧姆接触;(4)使用切片机,将其切割成1.0㎜×1.0?mm和1.5㎜×1.5mm不同规格的过渡片材料;(5)使用化学清洗和放入乙醇中超声清洗,去除过渡片边缘的毛刺和金属颗粒。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:谢忠平,李宗宇,
申请(专利权)人:江西联创特种微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。