【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种光刻照明系统，包括：高压汞灯、耦合透镜组、石英棒、中继透镜组、掩模板，汞灯发出的光经耦合透镜组会聚，在石英棒中经过多次全反射形成均匀照明光，经过中继透镜组放大，在掩模板上形成具有一定数值孔径、尺寸和均匀性的照明视场，其特征在于：所述中继透镜组用于提升照明视场内边缘视场光照强度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周刚，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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