【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
新型的多孔钽加工室结构，包括加工室(1)，其特征是在所述加工室(1)一侧壁上设置有保护气进口(2)，在相对的另一侧壁上设置两个以上的保护气出口(3)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭建明，杨艳文，郭建军，
申请(专利权)人：青岛高泰新材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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