【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶舟自动吹扫装置，其特征在于，设置在炉管内的装载区，包括：喷嘴、导轨和吹扫控制机构，喷嘴用于喷洒吹扫气体，以实现将晶舟槽内残留物自动清除的功能，在清除过程中，所述喷嘴可沿着所述导轨行进；所述吹扫控制结构用于控制喷嘴的吹扫状态。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：俞玮，倪立华，裴雷洪，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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