一种平板图像传感器制造技术

本发明专利技术提供一种平板图像传感器，至少包括：光电二极管，用于将光能转换成电荷信号；复位二极管，连接于所述光电二极管，用于对所述光电二极管进行复位；放大晶体管，其第一极连接外部电源，栅极连接于所述光电二极管的输出端，用于对所述光电二极管输出的电荷信号进行放大；以及读出晶体管，其第一极连接于所述放大晶体管的第二极，栅极用于输出扫描信号，用于控制放大晶体管电荷信号的读出。本发明专利技术采用复位二极管对图像传感器进行复位，在不增加成本及工艺难度的同时，有效降低漏电流，并大大的提高了图像传感器的复位速度，提高了图像传感器的速度和精度。本发明专利技术工艺和结构简单，适用于工业生产。

【技术实现步骤摘要】
一种平板图像传感器
本专利技术涉及一种图像传感器，特别是涉及一种平板图像传感器。
技术介绍
平板图像传感器，特别是大尺寸图像传感器，面积通常数十厘米，数百万至千万像素。通常应用于医疗辐射成像、工业探伤、安检等领域。大型平板图像传感器，如图1所示，一般包括图1：基板1(可以是玻璃或塑料等材料)，所有的传感器都放置于基板上；像素2及3，像素以二维阵列排布在基板上，每个像素一般包括一个光电二极管（photodiode）2及一个薄膜晶体管（TFT）3；用于控制各像素的扫描线4及数据线5；用于提供光电二极管电压的公共电极6。其基本原理是，公共电极施加一负电压(比如-8V)将光电二极管置于反偏状态，数据线接0V左右，扫描线接-10V左右将TFT关闭；当光照后，光电二极管产生光电荷，扫描线电压变为15V左右将TFT打开，光电二极管产生的光电荷通过数据线流到外部电路，完成一行数据读取，TFT关闭，再进行下一行扫描。其缺点是：由于像素不具备任何放大功能，而且photodiode转换效率始终小于1，而且由于光电二极管不能占据整个像素区，所以读出的电荷量始终小于入射光的量，导致信噪比低，在曝光较低的时候图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板图像传感器，其特征在于，至少包括：光电二极管，用于将光能转换成电荷信号；复位二极管，连接于所述光电二极管，用于对所述光电二极管进行复位；放大晶体管，其第一极连接外部电源，栅极连接于所述光电二极管的输出端，用于对所述光电二极管输出的电荷信号进行放大；读出晶体管，其第一极连接于所述放大晶体管的第二极，栅极用于输出扫描信号，用于控制放大晶体管电荷信号的读出。

【技术特征摘要】
1.一种平板图像传感器，其特征在于，至少包括：光电二极管，其输入端连接共模信号Vcom，用于将光能转换成电荷信号；复位二极管，其输入端连接复位信号VRST，输出端连接于所述光电二极管的输出端，用于对所述光电二极管进行复位；放大晶体管，其第一极连接外部电源，栅极连接于所述光电二极管的输出端，用于对所述光电二极管输出的电荷信号进行放大；读出晶体管，其第一极连接于所述放大晶体管的第二极，栅极用于输出扫描信号，用于控制放大晶体管电荷信号的读出；所述光电二极管与复位二极管为非晶硅PIN结构的二极管。2.根据权利要求1所述的平板图像传感器，其特征在于：还包括积分电路，用于将所述读出晶体管输出的电荷信号进行积分后输出电压信号。3.根据权利要求2所述的平板图像传感器，其特征在于：所述积分电路包括运算放大器及电容，其中，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金利波，王晓煜，刘琳，
申请(专利权)人：上海奕瑞光电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：