输送器以及部件检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种输送器以及部件检查装置。该输送器具备：与收容凹槽对应的第一冷却路径以及第二冷却路径；第一供给路径；与第一供给路径分支的第二供给路；使第二冷却路径中的制冷剂的流量比第一冷却路径多的第一节流阀；对各收容凹槽进行加热的加热器；检测各收容凹槽的温度的温度传感器；以及为了使各温度传感器的检测值成为目标温度而控制阀的开闭状态与加热器的输出，并且控制加热器的输出的控制装置。

【技术实现步骤摘要】
输送器以及部件检查装置
本专利技术涉及输送部件的输送器（handler），特别是涉及具有调节部件的温度的温度调节部的输送器，以及具备该输送器的部件检查装置。
技术介绍
通常，在检查电子部件的电气特性的部件检查装置中，使用在基台上的托盘与检查用插口之间输送检查前、检查后的电子部件的输送器。在这样的部件检查装置中，存在在将电子部件置于0℃以下的低温后检查该电子部件的电气特性的装置。以往，作为冷却电子部件的方法，例如公知有如专利文献1记载那样的技术。在专利文献1中，在载台载置有托盘，该托盘具有多个支承有电子部件的支承部。在该载台的内部形成有冷却路径，该冷却路径经由载台对托盘进行冷却。而且，通过将冷却了压缩空气的制冷剂从制冷剂供给部供给至载台的冷却路径，来经由托盘冷却电子部件。专利文献1：日本特开2004-347329号公报然而，在利用上述的构成冷却多个载台的情况下，需要在每个载台设置根据温度控制制冷剂的供给量的流量控制阀。然而，若是这样的构成，会导致连接制冷剂的供给源与各冷却路径的配管的构造变得复杂。另外，由于多个流量控制阀各自的状态由于载台不同而不同，所以对控制流量控制阀的开阀以及闭阀的控制部造成较大的负荷。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述的实际情况而完成的，其目的在于提供一种能够抑制在对支承多个部件的多个支承部进行冷却之后造成控制部件的温度的控制部的控制的负荷增大与冷却回路复杂化的输送器，以及具备该输送器的部件检查装置。本专利技术中的输送器的一实施方式具备：第一冷却路径，其利用制冷剂对支承部件的第一支承部进行冷却；第二冷却路径，其利用制冷剂对第二支承部进行冷却，第二支承部支承部件且与上述第一支承部不同；第一加热器，其对上述第一支承部进行加热；第二加热器，其对上述第二支承部进行加热且与上述第一加热器不同；第一温度传感器，其对上述第一支承部的温度进行检测；第二温度传感器，其对上述第二支承部的温度进行检测且与上述第一温度传感器不同；以及制冷剂供给部，其其将制冷剂通过流量控制阀向上述第一冷却路径以及第二冷却路径供给，上述第一冷却路径以及第二冷却路径被并列地连接于上述制冷剂供给部，上述输送器具备控制部，上述控制部根据上述第一温度传感器的检测值使上述流量控制阀进行开阀和闭阀的变化，并使上述第一加热器的输出变化，上述控制部根据上述第二温度传感器的检测值使上述第二加热器的输出变化。根据本专利技术中的输送器的一实施方式，由于第一冷却路径和第二冷却路径被并列地连接于制冷剂供给部，所以通过了共通的流量控制阀的来自制冷剂供给部的制冷剂被供给至第一冷却路径以及第二冷却路径。其结果是，与分别在第一冷却路径以及第二冷却路径单独地设置冷却供给部的情况相比，能够抑制冷却回路复杂化。另外，对于第一支承部而言，控制部根据第一温度传感器的检测值改变流量控制阀与第一加热器的输出，另一方面，对于第二支承部而言，控制部根据第二温度传感器的检测值仅改变第二加热器的输出。其结果是，能够在控制部件的温度之后减少对控制部的负荷。因此，能够实现简化冷却部件的冷却回路，并且，能够在将部件控制在目标温度之后减少对控制部的负荷。本专利技术中的输送器的其他的实施方式的上述第一冷却路径是制冷剂的流量比第二冷却路径小的流路。根据本专利技术中的输送器的其他的实施方式，由于第二冷却路径中的制冷剂的流量比第一冷却路径中的制冷剂的流量大，所以第二支承部比第一支承部被冷却至更低的温度。其结果是，能够实现简化冷却回路以及减少向控制部施加的负荷，并能够将第一支承部以及第二支承部控制在相同的温度，能够将第二支承部控制在比第一支承部的温度更低的温度。本专利技术中的输送器的其他的实施方式具备缩小上述第一冷却路径中的制冷剂的流量的节流阀。根据本专利技术中的输送器的其他的实施方式，由于利用第一节流阀缩小第一冷却路径中的制冷剂的流量，所以即使在第一冷却路径的流路截面积比第二冷却路径的流路截面积大的情况下，也能够使第一冷却路径中的制冷剂的流量比第二冷却路径小。因此，与未具有这样的节流阀的构成相比，还能够提高第一冷却路径以及第二冷却路径的形状、大小所涉及的自由度。本专利技术中的输送器的其他的实施方式具备：收容容器，其收容有上述支承部；第一排出路径，其将上述第一冷却路径的出口与上述收容容器连通；第二排出路径，其将上述第二冷却路径的出口与上述收容容器连通。对于将部件冷却至比常温更低的温度的输送器而言，为了避免冷却路径、支承部的周围的结露、结冰，而在冷却路径、支承部的周围形成有例如干燥空气、氮气等、含水量比大气少的氛围气体。根据本专利技术中的输送器的其他的实施方式，由于将含水量较少的制冷剂供给至收容有支承部的收容容器，所以能够抑制在支承部以及支承于该支承部的部件等、成为低温的部位产生结露。本专利技术中的输送器的其他的实施方式具备第一止回阀，其配设于上述第一排出路径抑制气体向上述第一冷却路径的流入，和及第二止回阀，其配设于上述第二排出路径抑制气体向上述第二冷却路径的流入。根据本专利技术中的输送器的其他的实施方式，通过第一排出路径抑制气体朝向第一冷却路径的流动，并且通过第二排出路径抑制气体朝向第二冷却路径的流动。因此，能够抑制下述情况发生：通过了第一冷却路径的制冷剂在第一排出路径逆流而再次流入第一冷却路径，并且通过了第二冷却路径的制冷剂在第二排出路径逆流而再次流入第二冷却路径。其结果是，抑制了因通过第一冷却路径而温度上升的制冷剂、来自收容容器的大气向第一冷却路径逆流，并抑制了因通过第二冷却路径而温度上升的制冷剂、来自收容容器的大气向第二冷却路径逆流。因此，能够高效地进行由供给至第一冷却路径的制冷剂对第一支承部进行的冷却与由供给至第二冷却路径的制冷剂对第二支承部进行的冷却。在本专利技术中的输送器的其他的实施方式中，在上述第一排出路径中的、上述第一止回阀的下游侧连接有上述第二排出路径中的上述第二止回阀的下游侧的部位。根据本专利技术中的输送器的其他的方式，与将第一排出路径以及第二排出路径与收容容器单独地连接的情况相比，也能够在制冷剂的排出侧简化冷却回路。另外，也能够抑制因通过第一冷却路径而温度上升的制冷剂在第二排出路径逆流而流入第二冷却路径，并且能够抑制因通过第二冷却路径而温度上升的制冷剂在第一排出路径逆流而流入第一冷却路径。在本专利技术中的输送器的其他的方式中，在上述第一排出路径中的连接有上述第二排出路径的部位的下游侧具备使通过上述第一排出路径的制冷剂升温的升温部。根据本专利技术中的输送器的其他的方式，将被升温部升温的制冷剂导入收容容器。其结果是，与将未被升温的制冷剂导入收容容器的情况相比，由于收容容器内的温度增高，所以能够抑制在收容容器内产生结露的情况。本专利技术中的输送器的其他的实施方式具备：第一节流阀，其具有多个上述第二冷却路径，并缩小上述第一冷却路径中的制冷剂的流量；以及第二节流阀，其被设置于上述多个第二冷却路径的各个路径中，并缩小该第二冷却路径中的制冷剂的流量。根据本专利技术中的输送器的其他的方式，即使在多个第二冷却路径的各个路径中的制冷剂的流量相互不同的情况下，也能够通过设置于各第二冷却路径的第二节流阀来抑制第二冷却路径间的制冷剂的流量的偏差。本专利技术中的部件检查装置的一实施方式具备：第一冷却路径，其利用制冷剂对支承部件的第一支承部进行冷却；第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种输送器，其特征在于，具备：第一冷却路径，其利用制冷剂对第一支承部进行冷却，所述第一支承部对部件进行支承；第二冷却路径，其利用制冷剂对第二支承部进行冷却，所述第二支承部对部件进行支承且与所述第一支承部不同；第一加热器，其对所述第一支承部进行加热；第二加热器，其对所述第二支承部进行加热且与所述第一加热器不同；第一温度传感器，其对所述第一支承部的温度进行检测；第二温度传感器，其对所述第二支承部的温度进行检测且与所述第一温度传感器不同；以及制冷剂供给部，其将制冷剂通过流量控制阀供给至所述第一冷却路径以及第二冷却路径，所述第一冷却路径以及第二冷却路径被并列地连接于所述制冷剂供给部，所述输送器具备控制部，所述控制部根据所述第一温度传感器的检测值使所述流量控制阀进行开阀和闭阀的变化，并使所述第一加热器的输出变化，所述控制部根据所述第二温度传感器的检测值使所述第二加热器的输出变化。

【技术特征摘要】
2012.02.14 JP 2012-0291791.一种输送器，其特征在于，具备：第一冷却路径，其利用制冷剂对第一支承部进行冷却，所述第一支承部对部件进行支承；第二冷却路径，其利用制冷剂对第二支承部进行冷却，所述第二支承部对部件进行支承且与所述第一支承部不同；第一加热器，其对所述第一支承部进行加热；第二加热器，其对所述第二支承部进行加热且与所述第一加热器不同；第一温度传感器，其对所述第一支承部的温度进行检测；第二温度传感器，其对所述第二支承部的温度进行检测且与所述第一温度传感器不同；制冷剂供给部，其将制冷剂通过流量控制阀以及连结路径供给至所述第一冷却路径以及所述第二冷却路径；以及气化容器，其配置于所述连结路径，并包含具有比所述连结路径的流路截面积大的流路截面积的第一气化室以及第二气化室，所述第一冷却路径以及所述第二冷却路径被并列地连接于所述制冷剂供给部，所述连结路径具有第一连结路径以及第二连结路径，所述第一连结路径与所述第一气化室连接，所述第二连结路径与所述第二气化室连接，所述第一气化室以及所述第二气化室配置为能够相互热交换，所述输送器具备控制部，所述控制部根据所述第一温度传感器的检测值使所述流量控制阀进行开阀和闭阀的变化，并使所述第一加热器的输出变化，所述控制部根据所述第二温度传感器的检测值使所述第二加热器的输出变化。2.根据权利要求1所述的输送器，其特征在于，所述第一冷却路径是制冷剂的流量比第二冷却路径小的流路。3.根据权利要求2所述的输送器，其特征在于，具备缩小所述第一冷却路径中的制冷剂的流量的第一节流阀。4.根据权利要求1～3中任一项所述的输送器，其特征在于，具备：收容容器，其收容有所述支承部；第一排出路径，其将所述第一冷却路径的出口与所述收容容器连通；以及第二排出路径，其将所述第二冷却路径的出口与所述收容容器连通。5.根据权利要求4所述的输送器，其特征在于，具备：第一止回阀，其配设于所述第一排出路径并抑制气体向所述第一冷却路径的流入；以及第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：前田政已，下岛聪兴，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：