色素吸附装置、色素吸附方法及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术的色素吸附装置及色素吸附方法以及基板处理装置能够大幅缩短使色素吸附在基板表面上的多孔质的半导体层的工序的处理时间。处理中，在喷嘴（20）的溶液引导面（92L、92R）与基板（G）之间的间隙中形成色素溶液的流动，而基板被处理面的多孔质半导体层在这种色素溶液的流动中接受色素吸附处理。而且，色素溶液的流动之外，还有来自缝隙状吐出口（88L、88R）的冲击压力和在槽状凹凸部（94L、94R）的紊流作用于铅垂方向上。由此，在基板被处理面的多孔质半导体层的表层部难以发生色素彼此之间的凝集或者缔合，从而使色素高效地渗透至多孔质半导体层的内部深处，并能够使多孔质半导体层高速地吸附色素。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使色素吸附于形成在基板的表面的多孔质的半导体层的色素吸附装置及色素吸附方法以及基板处理装置。
技术介绍
近年来，色素敏化型的太阳能电池有望成为将来的低成本太阳能电池。如图20所示，作为基本结构，色素敏化太阳能电池在透明电极(阴极)200与对置电极(阳极)202之间夹入了对敏化色素予以承载的多孔质的半导体层204和电解质层206。其中，半导体层204与透明电极200、电解质层206以及对置电极202 —同以电池单元(cell)为单位被划分，其隔着透明电极200而形成于透明基板208上。对置电极202的内侧被对置基板210覆盖。各个电池单元的透明电极200与邻近的对置电极202电连接，多个电池单元在模块整体中电性串联或者并联。在这种构成的色素敏化太阳能电池中，若从透明基板208的内侧照射出可视光，则承载于半导体层204的色素被激发并释放电子。所释放的电子经由半导体层204被引导至透明电极200，并取出至外部。被送出的电子经由外部电路(未图示)返回至对置电极202，并经由电解质层206中的离子而再次被半导体层204内的色素接受。这样，将光能立即转换为电能并输出。在这种色素敏本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：和田宪雄，寺田尚司，福田喜辉，古谷悟郎，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：
国别省市：