压力传感器制造技术
【技术实现步骤摘要】
压力传感器
本专利技术涉及一种压力传感器，尤其是涉及一种在收纳有压力检测元件的受压空间内封入有液体的液体封入式压力传感器。
技术介绍
以往，已提出各种如下所述的压力传感器：在收纳压力检测元件的受压空间内封入液体，将从外部施加给压力检测室的压力经液体传递给压力检测元件，由此从压力检测元件输出与外部压力对应的电压信号。作为上述液体封入式压力传感器的一例，在专利文献1中，记载有一种基座板（下面，称为“基座”），该基座板具有：在受压空间中注入液体后进行封闭的一个油封入孔（下面，称为“封入孔”）、以及在以传感器芯片为中心的同一圆周上所配置的多个密封用的孔（下面，称为“引线孔”）。在制造这种压力传感器时，在基座形成有封入孔和多个引线孔，在各引线孔安装有引线销、以及对其间隙进行填埋的密封用的圆筒状玻璃，通过加热等分别进行固定并封闭各个孔，此外在封入油后，在封入孔安装封入球，通过焊接等对其进行密封、固定。由于上述封入孔与引线孔的密封作业的内容略有不同，因此，在该密封作业的前阶段，需要把握封入孔和引线孔相对于基座的相对的位置关系、相对于夹具将基座载置于所需的位置上。这是通过例如在夹...
【技术保护点】
一种压力传感器，具有：压力检测元件；内表面固定有该压力检测元件的基座；与该基座相对配置的承载部件；由所述基座和该承载部件夹持的膜片；以及封入所述基座和该膜片之间的空间的液体，所述承载部件与所述膜片之间的空间内的压力通过所述膜片以及所述液体传递给所述压力检测元件，该压力传感器的特征在于，在所述基座上，封入所述液体时所用的封入孔、以及多个引线孔等间隔地设置在同一圆周上，该引线孔安装有与所述压力检测元件电连接的引线部件以及密封部件，该封入孔的内径比该密封部件的外径小。
【技术特征摘要】
2012.01.17 JP 2012-0066751.一种压力传感器，具有：压力检测元件；内表面固定有该压力检测元件的基座；与该基座相对配置的承载部件；由所述基座和该承载部件夹持的膜片；以及封入所述基座和该膜片之间的空间的液体，所述承载部件与所述膜片之间的空间内的压力通过所述...
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