电动执行机构制造技术

一种电动执行机构（10），在该电动执行机构（10）的本体（12）中，灰尘收集管（28a，28b）沿着本体（12）的孔部分（26）的轴线方向成对地布置。灰尘收集管（28a，28b）被分别连接到设置在端块（40）中的负压供应端口（50a，50b），并且包括多个第一至第五吸入孔（82，84，86，88，90），该第一至第五吸入孔（82，84，86，88，90）沿着灰尘收集管（28a，28b）的轴线方向互相分离。第一至第五吸入孔（82，84，86，88，90）之间的距离形成为灰尘收集管（28a，28b）在负压供应端口（50a，50b）的一侧的一端朝其另一端逐步减小。

【技术实现步骤摘要】
电动执行机构
本专利技术涉及一种电动执行机构，该电动执行机构能够通过将驱动单元的驱动力经由螺杆轴传输到可移动本体以移动该可移动本体。
技术介绍
迄今为止，作为运输工件等等的部件，电动执行机构已经广泛用于移动运输工件的滑块，在该电动执行机构中，丝杠（feedscrew）通过例如马达等等的旋转驱动源的旋转驱动力而可旋转地驱动。例如日本平开专利公报No.2004-156636中公开的这种电动执行机构包括：本体；滚珠螺杆，该滚珠螺杆被可旋转地布置在本体的内部；螺母，该螺母经由滚珠与滚珠螺杆螺纹接合；和可移动本体，该可移动本体被连接到螺母。通过在电动马达的驱动作用下旋转滚珠螺杆，螺母与可移动本体一起沿着轴线方向移动。在上述电动执行机构用于清洁室中，例如用于执行半导体制造的情况下，因为灰尘、碎屑等等可能由于互相啮合的滚珠螺杆、滚珠和螺母的摩擦损耗而产生，所以需要防止这种灰尘等等排出到外部。例如日本平开专利公报No.05-016092中公开的用于防止灰尘等等排出到外部的灰尘收集结构，已知了一种电动执行机构，该电动执行机构具有：滚珠螺杆，该滚珠螺杆被容纳在外壳的内部；和灰尘收集管，多个吸入孔被形成在该灰尘收集管中，并且该灰尘收集管布置在缝隙附近，该缝隙在外壳的上部分上敞开。通过向负压流体提供灰尘收集管，外壳的内部的灰尘等等被吸入孔吸收。
技术实现思路
然而，利用上述灰尘收集结构，灰尘收集管布置在外壳的外部上，因为灰尘收集结构被构造成通过在外壳上向上敞开的缝隙吸收灰尘等等，所以灰尘等等被暂时排出到外壳的外部。因此，该结构并不适合用于清洁室等等。进一步，利用灰尘收集管，其一端被连接到用作负压供应源的真空泵，负压流体从灰尘收集管的一端被供应到另一端。然而，因为多个吸入孔布置成互相分离相等距离，所以通过后端侧的另一端的吸入孔吸入的灰尘等等的吸收量小于通过前端侧的一端上的吸入孔吸入的吸收量。因此，这样很难沿着灰尘收集管的轴线方向均匀并一致地吸收灰尘等等，灰尘等等不能从外壳的距离负压源最远的后侧移除，并且灰尘等等残留在外壳中。本专利技术的目的在于提供一种电动执行机构，该电动执行机构能够沿着本体的轴线方向均匀并一致地吸收本体的内部中产生的灰尘等等，并且可靠地防止灰尘等等被排出到外部。本专利技术的特征在于一种电动执行机构，该电动执行机构包括：本体；驱动单元，该驱动单元在电流的激励下被可旋转地驱动；移动机构，该移动机构布置在本体内，并且具有螺杆轴和可移动本体，该螺杆轴通过驱动单元的驱动力而旋转，该可移动本体与螺杆轴螺纹接合并且沿着本体的轴线方向移动；负压供应端口，该负压供应端口形成在本体中，负压流体被供应到该负压供应端口；和负压供应管，该负压供应管布置在本体的内部，负压流体被从负压供应端口供应到该负压供应管中；其中，负压供给管包括沿着轴线方向互相分离的至少三个吸入孔，并且相邻的吸入孔之间的距离被设定成随着吸入孔与负压供应端口的距离越远而逐步越小。根据本实施例，供应负压流体所经过的负压供应管布置在本体的内部，并且负压流体从形成在本体中的负压供应端口被供应到负压供应管。同时，吸入孔沿着负压供应管的轴线方向互相分离，并且相邻吸入孔之间的距离被设定成随着吸入孔距离负压供应端口越远而逐步越小，其中，至少三个吸入孔设置在每个负压供应管中。因此，当本体的内部中的灰尘等等通过多个吸入孔被吸收时，负压流体可以沿着负压供应管的轴线方向被均匀并一致地供应到本体的内部，而不论负压供应端口的距离，并且内部产生的灰尘等等被可靠地并且一致地吸收并移除。本专利技术的上述及其他目的、特征和优点通过以下的描述结合附图将更加明显，在附图中本专利技术的最佳实施例将通过说明性的例子来说明。附图说明图1是根据本专利技术的实施例的电动执行机构的局部剖面的外部立体图；图2是沿着图1中的线II-II的截面图；图3是沿着图2中的线III-III的截面图；以及图4是布置在电动执行机构中的灰尘收集管的前视图。具体实施方式如图1至3所示，电动执行机构10包括：细长的本体12，本体12在轴线方向（箭头A和B的方向）上延伸；盖单元14，盖单元14被连接到本体12的一端部分；驱动单元16，驱动单元16通过电信号被可旋转地驱动，并且通过盖单元14被连接到本体12；移动机构20，移动机构20布置在本体12的内部并且具有能够通过驱动单元16的驱动力往返运动（stroke-displaced）的移动螺母（可移动本体）18；滑动台22，滑动台22被连接到移动螺母18并且沿着本体12移动；和灰尘吸收机构24，灰尘吸收机构24布置在本体12的内部。本体12被形成为例如具有矩形形状截面，孔部分26被形成在该本体12的内部，该孔部分26沿着轴线方向穿透本体12。稍后描述的移动机构20的螺杆轴46被插入通过孔部分26，两个保持凹槽30a、30b（参见图3）分别形成在孔部分26的上角部分中，灰尘吸收机构24的灰尘收集管（负压供应管）28a、28b被保持在两个保持凹槽30a、30b中。保持凹槽30a、30b包括开口27，该开口27朝着孔部分26的中心敞开并且沿着本体12的轴线方向（箭头A和B的方向）延伸。进一步，在孔部分26的内壁表面上，一对第一滚珠凹槽32沿着轴线方向被形成在一条直线上，稍后描述的第二滚珠76在该一对第一滚珠凹槽32中滚动。进一步，在本体12的另一端，端盖34通过未显示的螺栓被安装成覆盖并且阻塞孔部分26。另一方面，在本体12的上表面上，开口缝隙36沿着轴线方向（箭头A和B的方向）被形成在一条直线上。缝隙36被薄板形密封带38覆盖。如图2所示，盖单元14由端块40和适配器42组成，其中，端块40被连接到本体12的一端，适配器42被连接到端块40的一端。驱动单元16被连接到适配器42。本体12、端块40、适配器42和驱动单元16布置在一条直线上。端块40具有在其中的通孔44，通孔44穿透端块40的中心。连接螺杆轴46和驱动单元16的驱动轴64的连接器48被插入通孔44中。进一步，两个负压供应端口50a、50b被形成在端块40中，两个负压供应端口50a、50b垂直于通孔44（箭头A和B的方向）延伸的方向的相对侧表面中敞开。能够被连接到未显示的管的配件52被连接到负压供应端口50a、50b。一个负压供应端口50a通过管被连接到负压流体供应源（例如，真空泵），另一个负压供应端口50b被密封塞54阻塞和密封。更具体地，一对负压供应端口50a、50b中的任意一个被选择地使用，而不使用的负压供应端口50a、50b被密封塞54阻塞。两个负压供应端口50a、50b垂直于通孔44并且以预定深度向内形成在端块40的相对侧表面上，并且被分别连接到基本平行于通孔44延伸的连通通道56a、56b。连通通道56a、56b延伸到端块40的面向本体12的一端，并且与本体12的保持凹槽30a、30b基本同轴地形成。进一步，连接孔58a、58b分别形成在连通通道56a、56b的端部，稍后描述的灰尘收集管28a、28b被插入连接孔58a、58b中。连接孔58a、58b的直径相对于连通通道56a、56b扩展，并且密封环60经由环形凹槽被安装在其内圆周表面上（参见图2）。另外，灰尘收集管28a、28b的安装在本体12的保持凹槽30a、30b中的端部被插入连接孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电动执行机构，其特征在于，包括：本体（12）；驱动单元（16），所述驱动单元（16）在电流的激励下被可旋转地驱动；移动机构（20），所述移动机构（20）布置在所述本体（12）内，并且所述移动机构（20）具有螺杆轴（46）和可移动本体（18），所述螺杆轴（46）通过所述驱动单元（16）的驱动力而旋转，所述可移动本体（18）与所述螺杆轴（46）螺纹接合并且沿着所述本体（12）的轴线方向移动；负压供应端口（50a，50b），所述负压供应端口（50a，50b）形成在所述本体（12）中，负压流体被供应到所述负压供应端口（50a，50b）；和负压供应管（28a，28b），所述负压供应管（28a，28b）布置在所述本体（12）的内部，所述负压流体被从所述负压供应端口（50a，50b）供应到所述负压供应管（28a，28b）中；其中，所述负压供应管（28a，28b）包括沿着所述轴线方向相互分离的至少三个吸入孔（82，84，86，88，90），并且相邻的吸入孔（82，84，86，88，90）之间的距离被设定成随着所述吸入孔与所述负压供应端口（50a，50b）的距离越远而逐步越小。

【技术特征摘要】
2012.01.11 JP 2012-0026411.一种电动执行机构，其特征在于，包括：本体(12)；驱动单元(16)，所述驱动单元(16)在电流的激励下被可旋转地驱动；移动机构(20)，所述移动机构(20)布置在所述本体(12)内，并且所述移动机构(20)具有螺杆轴(46)和可移动本体(18)，所述螺杆轴(46)通过所述驱动单元(16)的驱动力而旋转，所述可移动本体(18)与所述螺杆轴(46)螺纹接合并且沿着所述本体(12)的轴线方向移动；负压供应端口(50a，50b)，所述负压供应端口(50a，50b)形成在所述本体(12)中，负压流体被供应到所述负压供应端口(50a，50b)；和负压供应管(28a，28b)，所述负压供应管(28a，28b)布置在所述本体(12)的内部，所述负压流体被从所述负压供应端口(50a，50b)供应到所述负压供应管(28a，28b)中；其中，所述负压供应管(28a，28b)包括沿着所述轴线方向相互分离的至少三个吸入孔(82，84，86，88，90)，所述吸入孔(82，84，86，88，90)朝着所述螺杆轴(46)的轴中心敞开，所述吸入孔(82，84，86，88，90)的直径实质上相同，并且相邻的吸入孔(82，84，86，88，90)之间的距离被设定成随着所述吸入孔与所述负压供应端口(50a，50b)的距离越远而逐步越小，以使得所述负压流体沿着所述轴线方向被均匀并一致地供应到所述本体(12)的内部。2.如权利要求1所述的电动执行机构，其特征在于，所述负压供应管(28a...

【专利技术属性】
技术研发人员：深野喜弘，马门正一，盐见裕幸，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：