【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻机生产相关领域，尤其涉及一种镜框固定装置。
技术介绍
在大规模半导体集成电路的前端制造设备中，光刻机是最复杂、要求最高的设备，它集光机电技术于一身，而物镜在光刻机中是核心部件，是光刻机的心脏，因此对于物镜的设计要求很高。当前，物镜的成像质量要求越来越高从而对镜片面型的要求也越来越高，这就对在物镜设计中镜框的固定方式提出了更高的要求，目前使用螺钉直接固定物镜镜框是一个常见的方法，需要通过在上、下镜框之间增加垫圈并进行修磨来实现上镜框中镜片的倾斜角度和高度的调整，这样的方式对垫圈的研磨要求很高，但工作效率却不高，装配不方便，并且容易对镜片产生应力以影响光刻机的质量，因此，这种固定方式不能满足现代物镜镜框的固定需求。
技术实现思路
本专利技术提供一种镜框固定装置，既能够满足镜框和镜片的安装精度要求，又不影响镜片的面型。本专利技术提供一种镜框固定装置，其用于固定光刻机物镜镜框中的上镜框与下镜框，所述镜框固定装置包括螺钉固定装置，所述螺钉固定装置包括螺钉套筒和螺钉，所述螺钉套筒上设有套筒外螺纹，所述上镜框中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的上螺纹孔，所述螺钉...
【技术保护点】
一种镜框固定装置，用于固定光刻机物镜镜框中的上镜框与下镜框，其特征在于：包括螺钉固定装置，所述螺钉固定装置包括螺钉套筒和螺钉，所述螺钉套筒上设有套筒外螺纹，所述上镜框中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的上螺纹孔，所述螺钉套筒的长度大于所述上镜框的厚度，所述螺钉套筒旋合于上镜框的上螺纹孔中，所述螺钉套筒的下端与所述下镜框的上表面相接触，所述螺钉穿过所述螺钉套筒固定于所述下镜框中。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王健，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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