温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种镜框固定装置，其用于固定光刻机物镜镜框中的上镜框与下镜框，所述镜框固定装置包括螺钉固定装置，所述螺钉固定装置包括螺钉套筒和螺钉，所述螺钉套筒上设有套筒外螺纹，所述上镜框中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的上螺纹孔，所述螺钉套筒...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。