喷沙处理方法技术

本发明专利技术的喷沙处理方法，是在由氮化铝构成的被处理物的表面上喷射喷沙材料，将附着在该表面的堆积物除去，作为上述喷沙材料，使用碳化硅或氧化铝构成、且粒度为＃４００～＃８００的沙粒，将喷沙材料撞击到被处理物表面时的压力，即喷沙材料压力设定为４０～１５０ｇｆ／ｃｍ↑［２］。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，更详细地说，涉及除去附着在半导体制造装置的构成部件上的堆积物的。
技术介绍
通常，在半导体部件的制造中，使用半导体制造装置在晶片上形成硅氧化膜等各种膜。在构成该半导体制造装置的加热器、静电吸盘或支架上，在膜生成过程中附着有堆积物。如果在加热器或支架上附着堆积物的话，则晶片的热均匀性降低，器件特性等的再现性降低。如果在静电吸盘上附着堆积物的话，则不会产生足够的静电吸附力，表面粗糙度发生变化，与晶片的接合程度或热传导方式改变，对等离子体加热时的晶片的热均匀性降低，器件特性等的再现性降低。因此，在现有技术中对附着在半导体制造装置的构成部件上的堆积物进行定期除去的作业(例如，参照日本特开2002-28599号公报以及特开2005-193308号公报)。然而，上述特开2002-28599号公报的现有技术记载的堆积物除去方法，是将玻璃珠喷沙材料喷射到被处理物上的方法，在被处理物上残留有玻璃珠喷沙材料，有成为粒子污染源的危险。另外，上述特开2005-193308号公报所公开的堆积物的除去方法，是对被处理物喷射喷沙材料的方法，由于没有规定喷射时的压力等，所以有产生损伤被处理物表面等的问题的危险。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种不损伤被处理物的表面，而且能够可靠地除去堆积物的。为了实现上述目的，本专利技术的，是在氮化铝构成的被处理物的表面上喷射喷沙材料，将附着在该表面上的堆积物除去，其特征在于，作为上述喷沙材料，使用碳化硅或氧化铝构成、且粒度为#400～#800的沙粒，将喷沙材料碰撞被处理物表面时的压力，即喷沙材料压力设定为40～150gf/cm2。采用本专利技术的，不损伤被处理物的表面，能够仅除去附着在表面的堆积物，在喷沙处理后，喷沙材料几乎不残留在表面上。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式所使用的作为被处理物的陶瓷加热器的立体图。图2是表示在陶瓷加热器的表面上实施喷沙处理的状态的侧视图。图3是概略表示在陶瓷加热器的表面上实施喷沙处理的状态的立体图。图4是表示在陶瓷加热器的表面上的喷沙材料的分布范围的示意图。图5是表示喷射喷沙材料的喷射机构的移动路径和陶瓷加热器的关系的示意图。具体实施例方式以下对本专利技术的实施方式进行说明。首先说明被处理物。被处理物使用由氮化铝(ALN)构成的部件。例如可采用陶瓷加热器、静电吸盘及支架等的半导体制造装置的构成零件。图1是表示本专利技术的实施方式所使用的作为被处理物的陶瓷加热器1的立体图。该陶瓷加热器1由配置在上侧的圆盘状的板材3、接合在板材3的下面的细长的圆筒状的轴5构成。并且，由于在板材3的表面3a上附着有堆积物，所以对该表面3a实施喷沙处理。其次说明喷沙材料。作为喷沙材料，使用由碳化硅(SiC)或氧化铝(Al2O3)构成且粒度为#400～#800的沙粒。粒度未满#400的场合，具有在板材3的表面3a上形成细微的凹凸，且热均匀性降低的问题。另一方面，若粒度大于#800时，由于难以充分除去板材3的堆积物，所以有处理时间变得非常长的问题。接着说明喷沙处理装置。如图2所示，本实施方式的喷沙处理装置7具备载置作为被处理物的陶瓷加热器1的载置台9；以及配置在该载置台9上方的喷射机构11。上述载置台9和喷射机构11构成为在大致水平方向相互正交并可移动，(参照图5)，喷射机构11还可以向上下方向移动。在载置台9的中央部设有插通孔13，在插通孔13中插入陶瓷加热器1的轴5。另外，板材3的下面与载置台9的上面接触，使陶瓷加热器1载置于载置台9上。另外，如图2所示，喷射机构11具备主体部15和在该主体部15的前端设置的喷嘴部17，从该喷嘴部17的前端喷出喷沙材料19。具体地说，如图3所示，设有4个喷嘴17，从各喷嘴17的前端圆锥状地喷出喷沙材料。因此，如图4所示，各喷嘴部17之间在X方向及Y方向等间隔(例如各100mm)地相隔配置，所以，这4个喷嘴部17配置在正方形的顶点部分。因此，向板材3的表面3a喷射的喷沙材料19的分布范围D在俯视时形成为一边例如为200mm的大致正方形。下面说明喷沙处理条件。喷沙材料19接触到板材3(被处理物)的表面3a时的压力即喷沙压力设定为40～150gf/cm2。该喷沙压力是通过向板材3喷射喷沙材料19，板材3受到喷沙材料19的压力。在喷沙压力未满40gf/cm2的场合，由于难以充分除去板材3的堆积物，所以存在需要非常长的处理时间的问题。另一方面，超过150gf/cm2的场合，有可能损伤板材3的表面3a，若发生该损伤，则由于存在在表面3a上形成细微的凹凸，且热均匀性降低的问题，所以不好。另外，上述喷沙压力更好是在60～100gf/cm2的范围。还有，喷嘴部17的移动速度最好是5～15cm/min，从喷嘴部17的前端部至被处理物表面的距离最好是6～12cm。其次说明喷沙材料的喷射量。在作为上述被处理物的陶瓷加热器1的板材3的表面3a，最好将每单位面积的喷沙材料19的喷射量设定为1.4～4.3g/cm2。在喷射量未满1.4g/cm2的场合，由于难以充分除去板材3的堆积物，所以有处理时间变得非常长的问题。另一方面，在喷射量大于4.3g/cm2的场合，存在在板材3的表面3a上形成细微的凹凸，且热均匀性降低的问题。喷射量更好是在1.7～2.8g/cm2的范围。接着使用图5简单说明用于算出喷沙材料19的喷射量的算出方法。将板材3的表面3a上的每1mm2的喷射量设为Q，将对板材3的喷射时间的合计设为T，将板材3的表面3a上的每1mm2在1秒间的喷射量设为q，将喷嘴部17的移动速度设为V，将喷嘴部17的1个通路的长度设为200，每个喷嘴部17的1个通路的移动时间设为t，每1秒供给喷嘴部17的喷沙材料19的量设为G。首先，用下面公式求出板材3的表面3a上的每1mm2的喷射量Q。Q＝T×q (式1)这里，T只要是在每1个通路的移动时间内有通路次数即可。喷嘴部17由于1个通路结束后横向偏移规定距离(例如5mm)并移动到下一通路，所以处理板材3的通路次数的合计为200/5＝40。因此，下面的算式成立。T＝(200/V)×(200/5)＝8000/V (式2)还有，板材3的表面3a上的每1mm2在1秒间的喷射量q用下面算式求出。Q＝G/(200×200)＝G/40000(式3)若将式2及式3代入上述式1，则成为下面的算式。Q＝T×q＝(8000/V)×(G/40000)＝G/5V(式4)下面说明。说明对作为被处理物的陶瓷加热器1实施喷沙处理的顺序。首先，如图2所示，将陶瓷加热器1载置于载置台9上，使喷射机构11下降，从板材3的表面3a往上方保持在规定距离(例如100mm)的位置。其次如图5所示，使喷射机构11以同一高度向Y方向以速度V呈直线状水平移动。然后，在移动端使水平移动停止，在该状态下，使载置台9向X方向滑动规定距离(例如5mm)之后，使喷射机构11向反方向(-Y方向)水平移动。重复这种动作，进行规定通路次数(例如40通路)的喷沙处理。该喷沙处理结束后，用纯净水及IPA(异丙醇)进行超声波洗净并使之干燥。以下对本专利技术的实施方式的作用效果进行说明。根据本实施方式的，作为喷沙材料，使用由碳化硅(SiC)或氧化铝(Al2O3)构成且粒度为#400～#800的沙粒，并将喷沙本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷沙处理方法，是在氮化铝构成的被处理物的表面上喷射喷沙材料，将附着在该表面上的堆积物除去，其特征在于，作为上述喷沙材料，使用碳化硅或氧化铝构成、且粒度为＃４００～＃８００的沙粒，将喷沙材料撞击到被处理物表面时的压力，即喷 沙压力设定为４０～１５０ｇｆ／ｃｍ↑［２］。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：菊泰二，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]