一种PECVD辅助配件清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PECVD辅助配件清洗机，包括：机架；酸洗系统，酸洗系统安装于机架上，酸洗系统包括用于盛装氢氟酸的酸槽；浸泡喷淋清洗系统，浸泡喷淋清洗系统安装于机架上，浸泡喷淋清洗系统包括清洗槽，清洗槽中安装有喷淋头。酸洗系统用于对辅助配件进行酸洗，氢氟酸与氮化硅之间具有如下反应：Si3N4+4HF+9H2O=3H2SiO3，利用氢氟酸与氮化硅之间能够反应的特性，本实用新型专利技术对辅助配件的清洁不采用物理清除的方法，能够避免辅助材料物理性能的变化。本实用新型专利技术采用氢氟酸与氮化硅进行化学反应实现对辅助配件的清洗，能够使得本实用新型专利技术对辅助配件的清洗较为彻底，并且其清洗效果较佳。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种PECVD辅助配件清洗机，其特征在于，包括：机架；酸洗系统，所述酸洗系统安装于所述机架上，所述酸洗系统包括用于盛装氢氟酸的酸槽（1）；浸泡喷淋清洗系统，所述浸泡喷淋清洗系统安装于所述机架上，所述浸泡喷淋清洗系统包括清洗槽（2），所述清洗槽（2）中安装有喷淋头（21）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：闫文启，齐海洋，李盼，
申请(专利权)人：英利集团有限公司，
类型：实用新型
国别省市：