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本实用新型公开了一种PECVD辅助配件清洗机，包括：机架；酸洗系统，酸洗系统安装于机架上，酸洗系统包括用于盛装氢氟酸的酸槽；浸泡喷淋清洗系统，浸泡喷淋清洗系统安装于机架上，浸泡喷淋清洗系统包括清洗槽，清洗槽中安装有喷淋头。酸洗系统用于对辅助...
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