化学药液分配装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制造领域，具体涉及一种化学药液分配装置。该装置包括储存容器，其内部储存化学药液，其顶部设置有注液入口和回液入口，其底部设置有与循环泵的输入端连接的出液口；采样阀，其为三通阀，其输入端连接循环泵的输出端，采样端连接热水注入通道，输出端连接气动三通阀的输入端；气动三通阀，其第一输出端连接储存容器的回液入口，第二输出端连接工艺单元的输入端，工艺单元的输出端连接储存容器的回液入口。本实用新型专利技术的一种化学药液分配装置通过在工艺管路上设置热水注入通道，代替了现有技术中的在线加热机构以及纯水注入机构，将加热与纯水注入合二为一，简化了化学药液分配装置的结构，方便了操作，同时减少了控制点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造领域，具体涉及一种化学药液分配装置。
技术介绍
在半导体硅片湿法清洗工艺中会用到各种化学药液，这些化学药液或呈酸性、碱性或者具有强烈的腐蚀性，又或者粘度较高、易挥发，某些化学药液可能因为造价高等问题还要求在使用寿命内循环使用。若某化学药液粘度较高并易挥发而且还可循环使用，则该化学药液会因为粘度高在管路中流动困难，难以达到工艺所需的压力和流量；因为易挥发会影响其组分的配比且会增加其粘度，而且因为可以循环使用，所以在工艺过后需流回化学药液存储装置，这更加剧了该化学药液的挥发，从而进一步增加其粘度，严重影响了工艺效果。目前，相关的半导体工艺设备解决上述问题是采用如图1中所示的装置。由于该化学药液可循环利用，在进入工艺腔室完成工艺后还需进行回收，因此需要一个专门的储存容器1，储存容器I可以存储一定量的化学药液，既可以完成工艺开始前的准备工作，工艺完成后还可以继续存储回收的化学药液。工艺开始时，首先打开第四气动阀6向储存容器中注入一定量的化学药液，关闭第四气动阀6 ;第一气动阀3打开,化学药液在循环泵2的作用进入工艺管路，由于该化学药液粘度较高，该装置在工艺管路上安装了在线加热器10，在满足工艺需求的情况下将化学药液加热到某一温度，温度升高以后，化学药液的粘度降低，可以更好的在工艺管路中流动，达到工艺所需的流量和压力，之后经由气动三通阀8以及第三气动阀5进入储液容器I。另外，该化学药液易挥发，工艺单元9完成工艺后还需将化学药液经由第二气动阀4回收，这更加剧了化学药液的挥发，该装置采用的方法是，通过定时控制第五气动阀7的开合，向储存容器I中注入一定量的纯水，对化学药液进行稀释。由于既需要控制在线加热器10的加热温度，同时又需要控制纯水的注入，操作不便；同时，由于第五气动阀7以及在线加热器10的设置，使得该装置结构复杂。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术的目的在于提供一种结构简单，操作方便，控制点少的化学药液分配>J-U装直。(二)技术方案本技术技术方案如下:一种化学药液分配装置，包括:储存容器，其内部储存化学药液，其顶部设置有注液入口和回液入口，其底部设置有与循环泵的输入端连接的出液口；采样阀，其为三通阀，其输入端连接循环泵的输出端，采样端连接热水注入通道，输出端连接气动三通阀的输入端；气动三通阀，其第一输出端连接储存容器的回液入口，第二输出端连接工艺单元的输入端，所述工艺单元的输出端连接所述储存容器的回液入口。优选的，所述工艺单元为多个，所述气动三通阀与所述工艺单元的数量相同，各个气动三通阀的第二输出端分别与对应的工艺单元的输入端连接，每个工艺单元的输出端分别与所述储存容器的回液入口连接。优选的，所述热水注入通道上设置有流量控制元件。优选的，所述储存容器上设置有液位传感器。优选的，所述循环泵为磁力泵。(三)有益效果本技术的一种化学药液分配装置通过在工艺管路上设置热水注入通道，代替了现有技术中的在线加热机构以及纯水注入机构，将加热与纯水注入合二为一，简化了化学药液分配装置的结构，方便了操作，同时减少了控制点。附图说明图1是现有技术中化学药液分配装置的示意图；图2是本技术的一种化学药液分配装置的示意图。图中，1:储存容器；2:循环泵；3:第一气动阀；4:第二气动阀；5:第三气动阀；6:第四气动阀；7:第五气动阀；8:气动三通阀；9:工艺单元；10:在线加热器；11:热水注入通道；12:采样阀。具体实施方式以下结合附图和实施例，对技术的具体实施方式做进一步描述。以下实施例仅用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。本技术与图1中所示的现有技术的不同之处主要在于不再向储存容器I中定时补水，同时去掉在线加热器10，采用向工艺管路中注入一定量特定温度热水的方法来达到降低化学药液粘度的目的，同时也改善了其易挥发的不足。具体实施过程如下所述:如图2所示的一种化学药液分配装置，包括储存容器1，其内部储存化学药液，其顶部设置有注液入口和回液入口，注液入口用于通过第四气动阀6注入化学药液，回液入口用于供化学药液回流；储存容器I上设置有液位传感器，便于从外部观察注入化学药液的总量；储存容器I的输出端与循环泵2的输入端连接，用于驱动化学药液的循环流动；循环泵2为磁力泵，磁力泵具有使用寿命长且无需保养等特点；采样阀12为三通阀，循环泵2的输出端与采样阀12的输入端连接；采样阀12的采样端与热水注入通道11连接，用于向工艺管路中注入热水；热水注入通道11上设置有流量控制元件，用于控制注入的热水的量；采样阀12的输出端与气动三通阀8的输入端连接；气动三通阀8的第一输出端通过管道与储存容器I的回液入口连接，管道上设置有第三气动阀5，当化学药液总量比较大需要回流时，打开第三气动阀5使化学药液回流；第二输出端与工艺单元9的输入端连接；工艺单元9的输出端通过管道与储存容器I的回液入口连接，管道上设置有第二气动阀4，在工艺过程中打开第二气动阀4供工艺完成后的化学药液的回收。工艺单元9和气动三通阀8都是两个，每个气动三通阀8的第二输出端分别与对应的工艺单元9的输入端连接，每个工艺单元9的输出端分别与储存容器I的回液入口连接；两个工艺单元9可以同时工作，也可以只有其中之一工作。实际操作步骤如下:注入化学药液:打开第四气动阀6，向储存容器I中注入一定量的化学药液，化学药液的量可由储存容器I上安装的液位传感器监控；待储存容器I内的化学药液液位达到预设要求时，关闭第四气动阀6。工艺前的准备工作:打开第一气动阀3，启动磁力泵2，打开第三气动阀5，化学药液从储存容器I流出，依次经过每个工艺单元9上的气动三通阀8，最后经由第三气动阀5流回储存容器I。在此阶段，注入的热水的量及温度可以精确控制。控制方式可以是定时打开采样阀12的采样端，让特定温度的热水注入工艺管路，降低化学药液的粘度；也可以是采用较细的热水管路，同时在管路中接入针阀等流量控制元件，保持采样阀12的采样端一直为打开状态，通过流量控制元件控制热水的注入。工艺过程:关闭第三气动阀5，同时切换每个气动三通阀8，两个工艺单元9可以同时工作，也可以只有其中之一工作，此时，化学药液会通过工艺单元的回收管路经过第二气动阀4流回储存容器I。本技术的优点:本技术的化学药液分配装置不需要向储存容器中定时定量的补水，而直接向工艺管路中注入恒定温度的热水，在降低了化学药液粘度的同时也补充了由于挥发而失去的水分，同时本方案相比现有技术节省了在线加热器，热水的温度可以精确控制，简化了化学药液分配装置的结构，方便了操作，同时减少了控制点。以上实施方式仅用于说明本技术，而并非对本技术的限制，有关
的普通技术人员，在不脱离本技术的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本技术的保护范畴。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学药液分配装置，其特征在于，包括：储存容器（1），其内部储存化学药液，其顶部设置有注液入口和回液入口，其底部设置有与循环泵（2）的输入端连接的出液口；采样阀（12），其为三通阀，其输入端连接循环泵（2）的输出端，采样端连接热水注入通道（11），输出端连接气动三通阀（8）的输入端；气动三通阀（8），其第一输出端连接储存容器（1）的回液入口，第二输出端连接工艺单元（9）的输入端，所述工艺单元（9）的输出端连接所述储存容器（1）的回液入口。

【技术特征摘要】
1.一种化学药液分配装置，其特征在于，包括: 储存容器(I )，其内部储存化学药液，其顶部设置有注液入口和回液入口，其底部设置有与循环泵(2)的输入端连接的出液口 ； 采样阀(12)，其为三通阀，其输入端连接循环泵(2)的输出端，采样端连接热水注入通道(11)，输出端连接气动三通阀(8)的输入端； 气动三通阀(8 )，其第一输出端连接储存容器(I)的回液入口，第二输出端连接工艺单元(9)的输入端，所述工艺单元(9)的输出端连接所述储存容器(I)的回液入口。2.根据权利要求1所述的一种化学药液分配装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王营营，何金群，初国超，裴立坤，贾星杰，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：