【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总地涉及多脉冲型气体放电激光器的脉冲的空间和时间的重叠。本专利技术尤其涉及来自两个或更多个准分子激光器或氟分子激光器的脉冲的空间和时间的重叠。
技术介绍
准分子激光器是传送电磁谱的紫外线(UV)区域中的辐射的脉冲型气体激光器。存在这种激光器的多种应用，例如激光退火，其得益于比从当前可供使用的最高能量的准分子激光器提供的大的脉冲能量。能够通过结合两个或更多个准分子激光器的输出来供给较大的脉冲能量。激光器的输出必须在空间和时间上进行重叠。可利用光学元件的布置来精确地实现空间重叠，并且光学重叠方法在本领域是公知的。时间重叠较不精确并且取决于众多其它因素中的能够逐脉冲复制脉冲型电源的工作特性的精度。这种特性的变化导致脉冲重叠的精度的时间上的变化。本领域从业者通常将该时间上的变化称为抖动。根据脉冲持续时间以及应用的要求，通常存在在不有损应用的情况下不会被超过的抖动值。通过实施例的方式，在激光退火应用中，要求结合具有大约600赫兹(Hz)的脉冲重复率和大约30毫微秒(ns)的半最大全宽度(FWHM)的脉冲持续时间的两个准分子激光器的脉冲输出，使脉冲具有复合的时间脉...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.08.09 US 12/852,8641.用于激励第一和第二气体放电激光器的电气装置，包括: 第一和第二存储电容器； 第一和第二高压电源，其被布置为分别对所述第一和第二存储电容器进行充电； 第一和第二脉冲形成电路，其被布置为使所述第一和第二存储电容器放电以产生第一和第二电脉冲并且将所述第一和第二电脉冲分别传送到所述第一和第二气体放电激光器；以及 开关布置，其被布置为通过所述脉冲形成电路使所述第一和第二存储电容器在其放电之前在预定时间段内连接在一起，用于使所述电容器在其放电之前的充电电压均衡。2.如权利要求1所述的装置，其中，所述时间段被选择以使所述电容器在所述存储电容器放电之前分离。3.如权利要求1所述的装置，其中，所述脉冲形成电路被布置为响应于第一和第二放电触发信号而使所述第一和第二存储电容器放电。4.如权利要求1所述的装置，其中，所述存储电容器在其充电期间不连接在一起，并且电源被布置为在所述电容器连接在一起之前将所述电容器分别充电到第一和第二电压，连接在一起的时间段开始于所述电容器已被充电到所述第一和第二电压之后并且结束于所述电容器放电之前。5.如权利要求4所述的装置，其中，所述第一电压大于所述第二电压。6.如权利要求5所述的装置，其中，所述电源为具有电压调节精度的调节型电源，并且其中，所述第一电压和所述 第二电压之间的差被选择以与所述开关系统和所述电源的所述电压调节精度配合，使得在所述电容器连接在一起的时间段中电流仅能够从所述第一电容器流到所述第二电容器。7.如权利要求6所述的装置，其中，所述第一电压和所述第二电压在大约1500伏特和2300伏特之间，所述电源的所述电压调节精度大约为正或负的2.3伏特，并且所述第一充电电压和所述第二充电电压之间的差为大约15伏特。8.如权利要求1所述的装置，其中，所述开关布置包括以反串联方式彼此连接的第一和第二 IGBT 二极管模块，并且所述第一和第二 IGBT 二极管模块分别与所述第一和第二存储电容器连接。9.如权利要求8所述的装置，其中，所述第一和第二存储电容器分别通过闭合和断开所述IGBT 二极管模块而连接和分离。10.如权利要求1所述的装置，其中，所述第一和第二脉冲形成电路包括:第一和第二脉冲变压器，所述第一和第二存储电容器通过所述第一和第二脉冲变压器放电以分别产生所述第一和第二电脉冲；以及第一和第二脉冲压缩器，其用于在所述第一和第二电脉冲分别被传送到所述第一和第二气体放电激光器之前在时间上压缩所述第一和第二电脉冲。11.用于激励第一和第二气体放电激光器的电气装置，包括: 第一和第二存储电容器； 第一和第二高压电源，其被布置为分别将所述第一和第二存储电容器分别充电到第一和第二电压； 第一和第二脉冲形成电路，其被布置为使所述第一和第二存储电容器放电以产生第一和第二电脉冲并且将所述第一和第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·泰格斯多尔夫，R·德索尔，
申请(专利权)人：相干股份有限公司，
类型：
国别省市：
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