基于变磁通的两自由度超高频响超精密刀具伺服装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种金刚石车削创成光学自由曲面的基于变磁通的两自由度超高频响超精密刀具伺服装置，主要由基座、柔性铰链、磁质材料、弹性导轨和刀架组成，所述的柔性铰链多个，分成两组对称布置构成一个并联式机构；柔性铰链由多个连接在磁质材料安装面上的磁质材料通过变磁通装置驱动；所述的弹性导轨（５）是由至少两组柔性铰链组成的并联机构，每组柔性铰链至少２个；所述的刀架（６）与前端的两个柔性铰链和弹性导轨（５）连接；基座（１）、柔性铰链、磁质材料安装面、弹性导轨（５）和刀架（６）是通过电火花线切割加工而成的一个整体。本发明专利技术可获得超高频响特性和较大冲程，可实现刀尖相对于工件的复合往复直线和往复摆动运动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种快速刀具伺服(Fast Tool Servo，以下简称FTS)装置，特别是涉及一 种金刚石车削创成光学自由曲面的两自由度超高频响超精密FTS装置，属于超精密加工和 复杂光学元件加工等

技术介绍
非回转对称(Non-Rotationally Symmetric,以下简称NRS)光学曲面可克服光学系统的 各种像差，改善光学性能，减縮光学系统的尺寸，使光学系统轻量化。由于NRS光学曲面 的卓越性能，这将使得突破性的光学设计成为可能，NRS光学曲面将不仅在空间探索和空 中防御系统等领域中有着重要的应用，而且在其它面向消费者的工业领域也将日益受到关 注。近年来，基于FTS的金刚石车削被国际工程界和学术界普遍认为是创成NRS光学曲面 的最有发展前途的、高效精密及低成本的加工方法，可以克服其它的NRS光学曲面加工方 法的一些不足。根据刀具轨迹的运动型式，现有的FTS装置主要包括直线型FTS和回转 型FTS。这些FTS装置都是单自由度的，即仅可实现刀尖相当于工件的往复直线或往复摆 动运动。这类FTS的主要缺陷是，刀尖相对于被加工表面易发生几何干涉，难以实现微结 构光学本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于变磁通的两自由度超高频响超精密刀具伺服装置，主要由基座、柔性铰链、磁质材料、弹性导轨和刀架组成，其特征在于所述的柔性铰链分成两组对称布置构成一个并联式机构；柔性铰链由连接在磁质材料安装面上的磁质材料通过变磁通装置驱动；所述的弹性导轨（５）是由至少两组柔性铰链组成的并联机构，每组柔性铰链至少２个；所述的刀架（６）与前端的两个柔性铰链和弹性导轨（５）连接；基座（１）、柔性铰链、磁质材料安装面、弹性导轨（５）和刀架（６）是通过电火花线切割加工而成的一个整体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周晓勤，赵宏伟，王亚明，王义强，许蓬子，史国权，王晓军，李国发，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：82[中国|长春]