【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种回收系统,特别是涉及一种使物质持续凝结成长,并使物质加速至跨音速以利其回收的物质回收系统。
技术介绍
在半导体、光电及太阳光电制作工艺中,时常产生对环境产生污染的废弃物。举例而言,铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池在制造过程中,未沉积于基板上的贵重金属原料如铟(In)及硒(Se)为带有剧毒且高价的物质。请参见图1,图1显示传统技术中处理一废弃物I的示意方块图。铜铟镓硒太阳能电池制作工艺中通常针对废弃物I以水洗2的技术进行处理,并将废水排放入环境3当中。然而,此方式将对环境产生了污染,且造成贵重原料的浪费。为了改善上述缺点,在另一种制作工艺中即以冷凝4的方式取代水洗2,以拦截废弃物I当中的有价物质(例如:Se),并通过高效滤网5 (HighEfficiency Particulate Air,HEPA)对废弃物I进一步进行过滤。此方法虽然可减少环境的污染,并将废弃物I中的有价物质加以回收再利用,但通过冷凝的方式而回收的有价元素的效率较低且管线须时常清理。另一方面,冷凝过程中产生的大量的纳米微粒,也会提高高效滤网5的更换频率并使得生广成本提闻。专利技术 ...
【技术保护点】
一种跨音速物质回收系统,用以回收一废气内的物质,其中该物质回收系统包括:收集管,其内部具有第一压力;凝聚装置,连结于该收集管,用以凝聚该废气内的物质,使其粒径增加;回收腔,其内部具有第二压力,其中该第二压力小于该第一压力;流孔板,包括至少一穿孔连结于该收集管与该回收腔之间;以及冲击板材,设置于该回收腔内,并面对该流孔板。
【技术特征摘要】
2011.12.07 TW 1001450211.一种跨音速物质回收系统,用以回收一废气内的物质,其中该物质回收系统包括: 收集管,其内部具有第一压力; 凝聚装置,连结于该收集管,用以凝聚该废气内的物质,使其粒径增加; 回收腔,其内部具有第二压力,其中该第二压力小于该第一压力; 流孔板,包括至少一穿孔连结于该收集管与该回收腔之间;以及 冲击板材,设置于该回收腔内,并面对该流孔板。2.如权利要求1所述的跨音速物质回收系统,其中该凝聚装置包括一前段温度控制装置,其包覆于该收集管的外壁面。3.如权利要求1所述的跨音速物质回收系统,其中该凝聚装置包括一扰流装置,其设置于该收集管内部,用以产生紊流以增加废气内的物质的碰撞,而使废气内的物质粒径增加。4.如权利要求1所述的跨音速物质回收系统,其中该收集管包括废气入口及感测装置,该废气自该废气入口进入该收集管,且该感测装置设置于该收集管上,用以监测该废气的压力与温度。5.如权利要求1所述的跨音速物质回收系统,还包括一后...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈姿名,蔡春进,许荣男,颜绍仪,
申请(专利权)人:财团法人工业技术研究院,
类型:发明
国别省市:
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