【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种电导率传感器，特别涉及一种共烧结构的电导率传感器。
技术介绍
在本领域中电导率传感器(包括四电极电导率传感器)以及共烧结工艺技术是公知的，电导率传感器用于测量液体或在液体中悬浮的扩散固体等流体的电导率(conductibity)。电导率传感器常常用于溶液的电解特性以及水解特性等，还被用来检测水质量，如饮用水、工业生产用水等，广泛应用在电力、化工、环保、食品、半导体工业、海洋研究开发等生活生产领域。共烧结技术由于具有易于实现大规模生产及实现产品微型化被广泛应用在半导体领域，该技术包括了流延、冲孔、丝网印刷、叠片、等静压、切割、烧结等工艺步骤。电导率的单位是Siemens/cm。电导率的测量覆盖从小于I X 10_7S/cm的超纯水到数值超过lS/cm的浓缩溶液的广大范围的溶液电导率。一种电导率测量技术包括用导电性电极接触溶液，例如，一种接触电导率测量技术采用一种具有两个与溶液接触的金属电极或去导电非金属电极的电导率传感器。电极间加以交流电(alternating current AC),电极间流通的AC电流可以确定电导池常数(电导系数)。接触型电导率...
【技术保护点】
共烧结构的电导率传感器，其特征在于，它包括上极板(1)、下极板和极板间基片(3)；所述上极板(1)和下极板结构相同，上极板和下极板镜像对称固定在极板间基片(3)的上表面和下表面形成“凹”字形结构；上极板和下极与极板间基片(3)连接的一端为固定端，另一端为悬空端；上极板(1)由五个极板基片组成；所述五个极板基片重叠放置，从上至下依次为第一极板基片(1?1?1)、第二极板基片(1?1?2)、第三极板基片(1?1?3)、第四极板基片(1?1?4)和第五极板基片(1?1?5)；第一极板基片(1?1?1)的悬空端的上表面设置有N个电极(1?2)，第三极板基片(1?1?3)的上表面设置...
【技术特征摘要】
1.共烧结构的电导率传感器，其特征在于，它包括上极板(I)、下极板和极板间基片(3);所述上极板(I)和下极板结构相同，上极板和下极板镜像对称固定在极板间基片(3)的上表面和下表面形成“凹”字形结构；上极板和下极与极板间基片(3)连接的一端为固定端，另一端为悬空端； 上极板(I)由五个极板基片组成；所述五个极板基片重叠放置，从上至下依次为第一极板基片(1-1-1)、第二极板基片(1-1-2)、第三极板基片(1-1-3)、第四极板基片(1-1-4)和第五极板基片(1-1-5)； 第一极板基片(1-1-1)的悬空端的上表面设置有N个电极(1-2)，第三极板基片(1-1-3)的上表面设置有N根引线(1-3)，第五极板基片(1-1-5)的下表面设置N个输出电极(1-4)， 第一极板基片、第二极板基片(1-1-2)、第二极板基片(1-1-3)、第四极板基片(1-1-4)和第五极板基片(1-1-5)分别设置N个过孔，所述过孔为各自基片的上表面至下表面通透的孔，所述通透的孔内设置有导电金属； 所述N个电极(1-2)分别通过第一极板基片(1-1-1)上的N个过孔和第二极板基片(1-1-2)上的N个过孔与第三极板基...
【专利技术属性】
技术研发人员：秦浩，尤佳，傅巍，祁欣，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十九研究所，
类型：实用新型
国别省市：
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