【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种电镀设备，尤其涉及一种电镀设备用挡液装置。
技术介绍
连续电镀时，为满足电镀区域的控制要求，可以采用调节电镀槽中电镀液的高度，来控制被镀工件浸入电镀液的深度，从而达到控制电镀面积的目的。该方式中，为提高镀件质量，就要使电镀液的浓度保持稳定，从而确保电流密度稳定，因此电镀液既要有充分的流动量，又必须保持液面的相对稳定。为此，使电镀液及时平稳地从电镀液子槽回流到电镀液母槽就非常关键。为达到这一目的，主要是通过泵把电镀液从电镀液母槽补充到电镀液子槽内，再经溢流到电镀液母槽内，如此反复循环，但由于现有的电镀设备中电镀液直接通过回流管冲入电镀液母槽内，此种方式会导致电镀液液面波动较大，所以难以保持电流密度稳定，以至于镀件质量较差。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种能够使电镀液液面波动小、电流密度稳定的电镀设备用挡液装置。为解决上述技术问题，本技术提供一种电镀设备用挡液装置，包括:电镀液母槽；电镀液子槽，安装于所述电镀液母槽的上方；还包括:电镀液过渡槽，安装于所述电镀液母槽的上方、用于收容从所述电镀液子槽中溢流出来的电镀液；回流管，一端与所述电镀液过渡槽相通，另一端竖直向下延伸至所述电镀液母槽内的底部；挡液板，安装在所述电镀液过渡槽中，并能够根据所述电镀液过渡槽中的液面高度打开或关闭，在打开时，电镀液能够通过所述回流管回流至所述电镀液母槽中。所述回流管另一端的末端水平延伸形成水平延伸部，所述平延伸部的出口与所述电镀液母槽的侧壁相对。与现有技术相比，本技术的有益效果为:由于本技术的一种电镀设备用挡液装置，包括有电镀液过渡槽，该电镀液过渡槽通过...
【技术保护点】
一种电镀设备用挡液装置，包括：电镀液母槽（2）；电镀液子槽（4），安装于所述电镀液母槽（2）的上方；其特征在于：还包括：电镀液过渡槽（6），安装于所述电镀液母槽（2）的上方；回流管（7），一端与所述电镀液过渡槽（6）相通，另一端竖直向下延伸至所述电镀液母槽（2）内的底部；挡液板（8），安装在所述电镀液过渡槽（6）中。
【技术特征摘要】
1.一种电镀设备用挡液装置，包括: 电镀液母槽(2)； 电镀液子槽(4)，安装于所述电镀液母槽(2)的上方； 其特征在于:还包括: 电镀液过渡槽(6)，安装于所述电镀液母槽(2)的上方； 回流管(7)，一端与所述电镀液过渡槽(6)相通，另一端竖直向下延...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏品军，
申请(专利权)人：江苏矽研半导体科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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