【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于等倾干涉原理的光路重合和平衡的调节方法，其特征在于，包括以下步骤：1]在原光路中引入辅助光束，并对引入的辅助光束进行分束处理，得到两束光；所述经分束处理得到的两束光分别耦合入干涉仪两臂中；2]调节干涉仪任一臂，或对干涉仪两臂均进行调整，使两束光重合在观察终端入射方向上设置的分束器上；3]辅助光束分束处理前的光路中增设透镜，并使辅助光束沿透镜光轴垂直入射，调节干涉仪两臂中任一臂的反射镜，或对干涉仪两臂的反射镜均进行调整，使观察终端上出现明暗相间的环状等倾干涉条纹；4]调节干涉仪两臂中任一臂内反射棱镜的位置，改变两路光束的到达步骤2中分束器经历的光程差，观察终端上相应出...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张世伟，张同意，赵卫，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
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