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本发明公开一种基于等倾干涉原理的光路重合和平衡的调节方法。该方法通过在原光路中引入辅助激光束，利用两激光束的等倾干涉产生的明暗相间的环状干涉条纹将干涉仪中两臂光路调节重合；调节其中一臂光路的光程，观察等倾干涉条纹的移动过程，在条纹移动方向发...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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