一种紫外激光能量衰减器制造技术

一种紫外激光能量衰减器，包括沿激光入射方向依次放置在激光器的入射光轴上的1/2波片、石英片堆和激光吸收器，所述1/2波片以所述入射光轴为中心可旋转设置，所述石英片堆与所述入射光轴成布儒斯特角摆放。本实用新型专利技术中，1/2波片可以改变输入的紫外激光的偏振方向，由于不同偏振方向的激光经过石英片堆时的反射率不同，实现通过偏振方式对于紫外激光能量的连续调节。此外，在本实例中，光学元件损伤阈值高，性能稳定，适用于大能量密度的激光使用。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光器
，更具体的说是涉及一种固体激光器的能量衰减装置，尤其是涉及一种紫外激光能量衰减器。
技术介绍
使用电光调Q的固体激光器具有较高的峰值功率和较紧凑的结构，在科研、加工、医学、军事等方面有着广泛的应用。很多应用情况下，激光器使用者需要在不改变激光器模式、光束质量的前提下调节能量的大小，这时多采用一种传统的能量调节方式，如图1所示，入射激光依次经过相对应波长的1/2波片7和偏振片8，通过调节1/2波片的轴向，改变入射激光的偏振方向，根据不同偏振方向的激光经过偏振片时的透射率不同，对入射激光的能量进行调节。在使用以上传统方法对于紫外激光进行能量调节时，发现对于大能量的脉冲紫外激光，没有损伤阈值足够高的紫外波长偏振片，在大能量脉冲紫外激光的轰击下，现在能够做出的紫外偏振片会很快出现损伤并被破坏，无法长期使用。
技术实现思路
本技术的目的在于设计一种新型的紫外激光能量衰减器，解决上述问题。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案如下:—种紫外激光能量衰减器，包括沿激光入射方向依次放置在激光器的入射光轴上的1/2波片、石英片堆和激光吸收器，所述1/2波片以所述入射光轴为中心可旋转设置，所述石英片堆的各镜片入射面的法线与所述入射光轴成布儒斯特角摆放。所述激光入射方向与所述1/2波片的入射角小于5度，所述1/2波片安装在以所述入射光轴为中心旋转的转台上。所述转台是手动驱动或电机驱动，当为电机驱动时，驱动电机为步进电机、直流电机或伺服电机。所述1/2波片，其波长为355nm、266nm、或35 Inm波长。所述1/2波片或者具有对入射激光的O度减反膜，或者不镀膜。所述石英片堆由4片到10片数量能够增减的石英镜片组成，所述石英镜片不镀膜，材质为紫外波段透过率高的石英，所述石英镜片的形状为圆形、椭圆形或多边形。每片所述石英镜片的两个光学表面间成一定楔角，楔角度数典型值为10分到3度之间的任意角度值。所述石英片堆的每片镜片入射面的法线均与入射激光成布儒斯特角摆放。所述激光吸收器安置在石英片堆两侧。所述激光器米用波长为355nm、266nm或35 Inm的激光光源。本技术中，1/2波片可以改变输入的紫外激光的偏振方向，由于不同偏振方向的激光经过石英片堆时的反射率不同，实现通过偏振方式对于紫外激光能量的连续调节。此外，在本实例中，光学元件损伤阈值高，性能稳定，适用于大能量密度的激光使用。本技术的有益效果可以总结如下:1，本技术中，1/2波片可以改变输入的紫外激光的偏振方向，由于不同偏振方向的激光经过石英片堆时的反射率不同，实现通过偏振方式对于紫外激光能量的连续调节。2，本技术光学元件损伤阈值高，性能稳定，适用于大能量密度的激光使用。附图说明图1为一种传统的激光能量偏振衰减器示意图；图2为本技术紫外激光能量衰减器结构示意图；图3至图6分别主视方向、俯视方向、左视方向和右视方向的本技术紫外激光能量衰减器机械结构多视角2D示意图。具体实施方式为了使本技术所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。如图2至图6所示的一种紫外激光能量衰减器，包括沿激光入射方向依次放置在激光器的入射光轴上的1/2波片2、石英片堆4和激光吸收器5，所述1/2波片2以所述入射光轴为中心可旋转设置，所述石英片堆4的各镜片入射面的法线与所述入射光轴成布儒斯特角摆放。在优选的实施例中，所述激光入射方向与所述1/2波片2的入射角小于5度，所述1/2波片2安装在以所述入射光轴为中心旋转的转台3上；所述转台3是手动驱动或电机驱动，当为电机驱动时，驱动电机为步进电机、直流电机或伺服电机。所述1/2波片2，其波长为355nm、266nm、或351nm波长；所述1/2波片2或者具有对入射激光的O度减反膜，或者不镀膜。所述石英片堆4由4片到10片数量能够增减的石英镜片组成，所述石英镜片不镀膜，材质为紫外波段透过率高的石英，所述石英镜片的形状为圆形、椭圆形或多边形；每片所述石英镜片的两个光学表面间成一定楔角，楔角度数典型值为10分到3度之间的任意角度值。在更加优选的实施例中，所述石英片堆4的每片镜片入射面的法线均与入射激光成布儒斯特角摆放。所述激光吸收器5安置在石英片堆4两侧；所述激光器采用波长为355nm、266nm或35 Inm的激光光源。从上述技术方案可以看出，本技术中，1/2波片2可以改变紫外激光光源I输入的紫外激光的偏振方向，由于不同偏振方向的激光经过石英片堆4时的反射率不同，实现通过偏振方式对于紫外激光能量的连续调节。此外，在本实例中，光学元件损伤阈值高，性能稳定，适用于大能量密度的激光使用。本技术通过改变1/2波片2的轴向同紫外激光偏振方向的夹角，改变输入的紫外激光的偏振方向，之后紫外激光经过按照布儒斯特角摆放的石英片堆4后，实现偏振衰减，石英片反射的紫外激光被能量吸收器吸收。所述能量衰减器使用波片和石英片堆4对激光实现能量衰减，输出能量调节范围大，实现了对大能量紫外激光的输出能量的连续调节，状态稳定可靠，损伤阈值高，且不影响输出激光的模式，主要特点为适用于大能量紫外脉冲固体激光器的能量调节。以上通过具体的和优选的实施例详细的描述了本技术，但本领域技术人员应该明白，本技术并不局限于以上所述实施例，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本技术的保护范围之内。权利要求1.一种紫外激光能量衰减器，包括沿激光入射方向依次放置在激光器的入射光轴上的1/2波片、石英片堆和激光吸收器，其特征在于:所述1/2波片以所述入射光轴为中心可旋转设置，所述石英片堆的各镜片入射面的法线与所述入射光轴成布儒斯特角摆放。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于:所述激光入射方向与所述1/2波片的入射角小于5度，所述1/2波片安装在以所述入射光轴为中心旋转的转台上。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于:所述转台是手动驱动或电机驱动，当为电机驱动时，驱动电机为步进电机、直流电机或伺服电机。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于:所述1/2波片，其波长为355nm、266nm、或351nm波长。5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于:所述1/2波片或者具有对入射激光的O度减反膜，或者不镀膜。6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于:所述石英片堆由4片到10片数量能够增减的石英镜片组成，所述石英镜片不镀膜，材质为紫外波段透过率高的石英，所述石英镜片的形状为圆形、椭圆形或多边形。7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于:每片所述石英镜片的两个光学表面间成一定楔角，楔角度数典型值为10分到3度之间的任意角度值。8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于:所述石英片堆的每片镜片入射面的法线均与入射激光成布儒斯特角摆放。9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于:所述激光吸收器安置在石英片堆两侧。10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于:所述激光器采用波长为355nm、266nm或35 Inm的激光光源。专利摘要一种紫外激光能量衰减器，包括沿激本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种紫外激光能量衰减器，包括沿激光入射方向依次放置在激光器的入射光轴上的1/2波片、石英片堆和激光吸收器，其特征在于：所述1/2波片以所述入射光轴为中心可旋转设置，所述石英片堆的各镜片入射面的法线与所述入射光轴成布儒斯特角摆放。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李彬彬，孙丙中，
申请(专利权)人：北京镭宝光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11