基板检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种由一台检查装置就能够应对各种检查要求的基板检查装置。基板检查装置的检查主体部具备：将被检查基板从搬入侧输送至搬出侧的输送区域；以及配置有用于对被检查基板进行规定检查的检查夹具的检查区域，进而还具备：第一输送装置，其配置于输送区域，并将被检查基板从搬入侧输送至搬出侧；以及第二输送装置，其以沿着与所述第一输送装置的输送方向垂直的方向输送被检查基板的方式被配置，并用于在第一输送装置的规定位置与检查区域内的配置有检查夹具的位置之间输送被检查基板，其中，所述第二输送装置具备保持被检查基板的把持装置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对预先设定在检查对象物上的检查点之间的电气特性进行检测，来进行检查点之间的导通检查、漏电检查等的基板检查装置。
技术介绍
基板检查装置具备夹具和检查装置，所述夹具上安装有多个接触件、探头、探针、接触销等。检查装置通过使夹具接近检查对象物而使接触件等的前端与检查点接触，并经由接触件等从检查装置向检查点供给电流或电信号，另一方面，从该检查点检测出电信号，由此检测出检查点之间的电气特性，来进行检查点之间的是否导通、是否漏电等的检查。作为对象物，可以例举出例如印刷布线基板、挠性基板、陶瓷多层布线基板、液晶显示器或等离子体显示器用的电极板、或半导体封装用的封装基板或膜载体(filmcarrier)等各种基板、半导体晶片或半导体芯片或CSP (chip size package:芯片尺寸封装)等的半导体装置(LSI (Large Scale Integration:大规模集成电路)等)。例如，在受检物是基板且搭载在其上的物品是IC等半导体电路或电阻等电子/电气部件的情况下，形成在基板上的布线、电极等成为检查的对象物。在此情况下，为了保证作为检查对象物的布线能够正确地将电信号传递给本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板检查装置的检查主体部，具备：输送区域，其将被检查基板从搬入侧输送至搬出侧；以及检查区域，其配置有用于对所述被检查基板进行规定检查的检查夹具，所述检查主体部具备：第一输送装置，其配置于所述输送区域，并将所述被检查基板从所述搬入侧输送至所述搬出侧；以及第二输送装置，其以沿着与所述第一输送装置的输送方向垂直的方向输送所述被检查基板的方式被配置，并用于在所述第一输送装置的规定位置与所述检查区域内的配置有所述检查夹具的位置之间输送所述被检查基板，其中，所述第二输送装置具备保持所述被检查基板的把持装置。

【技术特征摘要】
2011.11.08 JP 2011-2442001.一种基板检查装置的检查主体部，具备: 输送区域，其将被检查基板从搬入侧输送至搬出侧；以及 检查区域，其配置有用于对所述被检查基板进行规定检查的检查夹具， 所述检查主体部具备: 第一输送装置，其配置于所述输送区域，并将所述被检查基板从所述搬入侧输送至所述搬出侧；以及 第二输送装置，其以沿着与所述第一输送装置的输送方向垂直的方向输送所述被检查基板的方式被配置，并用于在所述第一输送装置的规定位置与所述检查区域内的配置有所述检查夹具的位置之间输送所述被检查基板， 其中，所述第二输送装置具备保持所述被检查基板的把持装置。2.根据权利要求1所述的基板检查装置的检查主体部，其中，所述检查夹具包括:具有探头的夹具头部和针对探头进行信号切换的扫描块。3.根据权利要求1或2所述的基板检查装置的检查主体部，其中，所述第二输送装置的所述把持装置具备上侧的固定部和下侧的按压部，并通过所述下侧的按压部的转动来保持所述被检查基板或释放所述被检查基板。4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板检查装置的检查主体部，其中，所述检查主体部的所述检查夹具具备CCD照相机，利用CCD照相机检测出所述被检查基板上的规定标记，而能够修正所述检查夹具在水平方向和垂直方向上的位置偏差和倾角偏差。5.一种基板检查装置，具备: 搬入部，其具备用于逐个地搬入被检查基板的输送装置； 根据权利要求1至4中任一项所述的检查主体部；以及 分选存放部，其根据检查结果对在所述检查主体部中检查过的所述被检查基板进行分选并存放， 其中，将所述被检查基板从所述搬入部提供至所述检查主体部的所述搬入侧，进而从所述搬出侧输送至所述分选存放部。6.根据权利要求5所述的基...

【专利技术属性】
技术研发人员：岸田阳一，
申请(专利权)人：日本电产理德株式会社，
类型：发明
国别省市：