一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括四通，所述四通的一端连接有分子泵，所述分子泵与前级泵相连接，所述四通的另一端还连接有离子泵。本发明专利技术解决了现有技术中加速器的真空度无法达到要求的问题，通过在加速器的四通上安装两路可同时工作的抽真空系统，使加速器能获得较为满意的真空度，当加速器不出束时，通过插板阀切断其中一路抽真空系统，即可保证加速器的正常工作，从而保住了加速器的束流品质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及了一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，属于加速器真空

技术介绍
电子辐照加速器的真空系统主要有电子轮、加速管支座、漂移管、波纹管、扫描磁铁芯管、扫描盒及抽气系统组成。真空抽气系统是加速器真空系统的重要系统。加速器要求的真空度主要由系统的残余气体分子与电子束的碰撞，由避免及减少由碰撞产生的库仑散射带来的能量损失程度来决定。因此，真空度至少不大于IO3帕，分子的平均自由程达5米以上，才能获得一个满意的束流品质，原美国RDI公司加速器在四通处动态真空为IO4帕，这样的真空对于加速器真空显然是不满意的，因此具有一个良好的真空抽气系统来改善束流品质，提高加速器的性能是很重要的关键。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，能够使加速器具有良好的真空度，以改变其束流品质，提高加速器的性能。为了解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案是 一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括四通，所述四通的一端连接有分子泵，所述分子泵与前级泵相连接，所述四通的另一端还连接有离子泵。前述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于所述分子泵与四通之间设置有插板阀。前述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于所述分子泵与前级泵之间还设置有检漏阀门。前述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于所述分子泵为FB450型涡轮分子泵。前述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于所述离子泵为L400型溅射型离子泵。本专利技术的有益效果是通过在加速器的四通上安装两路可同时工作的抽真空系统，使加速器能获得较为满意的真空度，当加速器不出束时，通过插板阀切断其中一路抽真空系统，即可保证加速器的正常工作，从而保住了加速器的束流品质。附图说明图1是本专利技术一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置的结构示意图。具体实施例方式下面将结合说明书附图，对本专利技术作进一步的说明。如图1所示，一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括四通1，所述四通I的一端连接有分子泵2，所述分子泵2与前级泵3相连接，所述四通I的另一端还连接有离子泵4，其中分子泵2为FB450型涡轮分子泵，离子泵4为L400型溅射型离子泵。二路抽真空系统同时工作，可保证获得满意的真空度。分子泵2与四通I之间设置有插板阀5，当加速器不出束时关闭插板阀5切断分子泵2抽气回路，仅启动离子泵4来维持真空。经一段工作时间，系统仅启动离子泵4就可以保证加速器的正常工作。分子泵2与前级泵3之间还设置有检漏阀门6,满足真空系统检漏的需要,真空密封采用无氧铜密封垫。综上所述，本专利技术提供的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，能够使加速器具有良好的真空度，以改变其束流品质，提高加速器的性能。以上显示和描述了本专利技术的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本专利技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本专利技术的原理，在不脱离本专利技术精神和范围的前提下，本专利技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本专利技术范围内。本专利技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括四通（1），其特征在于：所述四通（1）的一端连接有分子泵（2），所述分子泵（2）与前级泵（3）相连接，所述四通（1）的另一端还连接有离子泵（4）。

【技术特征摘要】
1.一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括四通(1)，其特征在于:所述四通(I)的一端连接有分子泵(2)，所述分子泵(2)与前级泵(3)相连接，所述四通(I)的另一端还连接有离子泵(4)。2.根据权利要求1所述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于:所述分子泵(2 )与四通(I)之间设置有插板阀(5 )。3.根据权利要求1或2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱锦华，
申请(专利权)人：江苏达胜加速器制造有限公司，
类型：发明
国别省市：