【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种夹持机构,更具体地涉及一种激光汇聚原子沉积时固定基片的夹持机构。
技术介绍
:激光汇聚原子沉积技术是一种纳米制造技术,用于制造间距为λ /n的纳米结构阵列。其中λ是原子跃迁频率V对应的波长(λ = c/v, C为光速)。激光汇聚原子沉积技术所能制造的最简单的纳米结构为间距为λ/2的纳米条纹阵列。就是令一束准直过的原子束垂直穿过一个激光驻波场。当激光频率大于原子跃迁频率时,原子向驻波场的波节处汇聚。相反,当激光频率小于原子跃迁频率时,原子向驻波场的波峰处汇聚。汇聚后的原子堆积在基片上,形成纳米条纹阵列。进行激光汇聚原子沉积时,基片表面必须与驻波场平行。为此,目前公知的结构是如图1所示;用一束基膜激光射向一平面反射镜Α,当入射光与反射光重合时,即形成激光驻波场B。该驻波场B与平面反射镜A的表面垂直。基片C的表面与驻波场B的平行关系通过一个直角棱镜D来实现。直角棱镜D的一个直角面与平面反射镜A粘合。则直角棱镜D的另一个直角面与平面反射镜A的表面垂直,同时与驻波场B平行。该直角棱镜D的直角面作为安装基片C的参考面,基片C贴合在直角棱镜D的参考面上(如图1所示)。准之后的原子束E与驻波场B垂直。基片C的材料一般为硅、钛蓝宝石、砷化镓、磷化铟等。基片尺寸一般长为10mm、宽为3mm、厚为0.5mm,基片与直角棱镜的贴合大都采用螺钉拧紧压片或粘结剂粘合的方法相固定。如果采用螺钉拧紧压片,则夹持结构相对复杂,装配也不方便。此外,原子汇聚沉积实验要在超高真空环境中进行,真空度需达到10_5Pa。夹持结构复杂、使用螺钉都将增加抽真空的难度。如果使用粘结剂粘 ...
【技术保护点】
一种夹持机构,主要包括:一S形的簧片,簧片的底端为平面,簧片的中部连续形变形成第一弯曲部和第二弯曲部;该平面粘贴在直角棱镜的参考面上,利用该第一弯曲部形变产生的弹力,并通过第二弯曲部将基片压紧在参考面的表面。
【技术特征摘要】
1.一种夹持机构,王要包括: 一 S形的簧片,簧片的底端为平面,簧片的中部连续形变形成第一弯曲部和第二弯曲部; 该平面粘贴在直角棱镜的参考面上,利用该第一弯曲部形变产生的弹力,并通过第二弯曲...
【专利技术属性】
技术研发人员:殷聪,钱进,石春英,刘秀英,刘忠有,张小平,王捍平,蔡山,
申请(专利权)人:中国计量科学研究院,
类型:发明
国别省市:
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