一种夹持机构制造技术

技术编号:8651721 阅读:235 留言:0更新日期:2013-05-01 16:49
一种夹持机构,主要包括:一S形的簧片,簧片的底端为平面,簧片的中部连续形变形成第一弯曲部和第二弯曲部;该平面粘贴在直角棱镜的参考面上,利用该第一弯曲部形变产生的弹力,并通过第二弯曲部将基片压紧在参考面的表面。本发明专利技术提供的夹持机构,其结构简单,方便完成对基片的固定,而且便于基片的装卸。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种夹持机构,更具体地涉及一种激光汇聚原子沉积时固定基片的夹持机构。
技术介绍
:激光汇聚原子沉积技术是一种纳米制造技术,用于制造间距为λ /n的纳米结构阵列。其中λ是原子跃迁频率V对应的波长(λ = c/v, C为光速)。激光汇聚原子沉积技术所能制造的最简单的纳米结构为间距为λ/2的纳米条纹阵列。就是令一束准直过的原子束垂直穿过一个激光驻波场。当激光频率大于原子跃迁频率时,原子向驻波场的波节处汇聚。相反,当激光频率小于原子跃迁频率时,原子向驻波场的波峰处汇聚。汇聚后的原子堆积在基片上,形成纳米条纹阵列。进行激光汇聚原子沉积时,基片表面必须与驻波场平行。为此,目前公知的结构是如图1所示;用一束基膜激光射向一平面反射镜Α,当入射光与反射光重合时,即形成激光驻波场B。该驻波场B与平面反射镜A的表面垂直。基片C的表面与驻波场B的平行关系通过一个直角棱镜D来实现。直角棱镜D的一个直角面与平面反射镜A粘合。则直角棱镜D的另一个直角面与平面反射镜A的表面垂直,同时与驻波场B平行。该直角棱镜D的直角面作为安装基片C的参考面,基片C贴合在直角棱镜D的参考面上(如图1所示)。准之后的原本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种夹持机构,主要包括:一S形的簧片,簧片的底端为平面,簧片的中部连续形变形成第一弯曲部和第二弯曲部;该平面粘贴在直角棱镜的参考面上,利用该第一弯曲部形变产生的弹力,并通过第二弯曲部将基片压紧在参考面的表面。

【技术特征摘要】
1.一种夹持机构,王要包括: 一 S形的簧片,簧片的底端为平面,簧片的中部连续形变形成第一弯曲部和第二弯曲部; 该平面粘贴在直角棱镜的参考面上,利用该第一弯曲部形变产生的弹力,并通过第二弯曲...

【专利技术属性】
技术研发人员:殷聪钱进石春英刘秀英刘忠有张小平王捍平蔡山
申请(专利权)人:中国计量科学研究院
类型:发明
国别省市:

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