一种液体喷头及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种液体喷头及其制造方法，所述液体喷头的制造方法包括：在压电元件的共用电极表面设置绝缘材料层作为振动板；使用可光成像高分子材料在所述绝缘材料层表面设置第一薄膜层，并对该第一薄膜层上确定为液体腔室的区域实施第一次曝光；使用可光成像高分子材料在已实施曝光的第一薄膜层表面设置第二薄膜层，并对该第二薄膜层上确定为喷液孔的区域实施第二次曝光；利用显影液显影去除第一薄膜层和第二薄膜层未曝光材料，形成液体腔室和喷液孔。本发明专利技术的液体喷头通过二次曝光和一次显影实现液体腔室和喷液头一体成型，提高了液体腔室的强度，以及成品率，利于提升打印设备的品质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种打印设备中的液体喷头以及该液体喷头的制造方法，尤其涉及一种喷墨打印设备中使用的压电式喷液头及其制造方法。
技术介绍
改进现有打印设备的喷液头装置，提高喷墨式记录头的清晰化程度的要求随着打印设备的普及而日显强烈。为了使喷墨式记录头高清晰度化，一些相应的改进方案也开始被提出。常见的液体喷头结构一般包括有压力室基板、粘接在压力室基板一面上的喷嘴板，和设置在压力室基板另一面上的振动板。压力室基板一般为硅基板(硅晶片)，通过蚀刻工艺在该压力室基板上形成多个存储墨水的压力室(空腔)，使喷嘴板对应各压力室被粘接，从而在振动板的一面完成喷嘴孔的配置；在振动板的另一面与压力室相对位置形成压电元件，即完成喷液头的加工。执行打印时，压电元件在施压下产生体积变化，通过振动板引起压力室体积变化，由于压力室中填充墨水，此时墨水会从喷嘴孔中喷出而完成打印。由于压力室(也称液体腔室)是在硅晶片上蚀刻形成，为了提高打印的清晰度而减小压力室的侧壁厚度时，必然会导致作为振动板的硅晶片的机械强度下降，在压力室形成中出现硅晶片的破损而使整个液体喷头的成品率较低，明显导致了制造成本的增加；另一方面，由于喷嘴本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体喷头的制造方法，包括以下步骤：在压电元件的共用电极表面设置绝缘材料层作为振动板；使用可光成像高分子材料在所述绝缘材料层表面设置第一薄膜层，并对该第一薄膜层上确定为液体腔室的区域实施第一次曝光；使用可光成像高分子材料在已实施曝光的第一薄膜层表面设置第二薄膜层，并对该第二薄膜层上确定为喷液孔的区域实施第二次曝光；利用显影液显影去除第一薄膜层和第二薄膜层未曝光材料，形成液体腔室和喷液孔。

【技术特征摘要】
1.一种液体喷头的制造方法，包括以下步骤: 在压电元件的共用电极表面设置绝缘材料层作为振动板； 使用可光成像高分子材料在所述绝缘材料层表面设置第一薄膜层，并对该第一薄膜层上确定为液体腔室的区域实施第一次曝光； 使用可光成像高分子材料在已实施曝光的第一薄膜层表面设置第二薄膜层，并对该第二薄膜层上确定为喷液孔的区域实施第二次曝光； 利用显影液显影去除第一薄膜层和第二薄膜层未曝光材料，形成液体腔室和喷液孔。2.根据权利要求1所述的液体喷头的制造方法，其中还包括以下步骤: 在基座上形成剥离层，并在该剥离层上形成压电元件；以及 在形成所述液体腔室和喷液孔后，将基座从剥离层剥离。3.根据权利要求2所述的液体喷头的制造方法，其中， 在剥离层上形成压电元件的方法包括在剥离层上依次形成驱动电极、压电体层和共用电极； 所述使基座从剥离层剥离的方法包括利用光照射基座的里侧以对剥离层产生摩蚀而使基座被剥离。4.根据权利要求3所述的液体喷头的制造方法，其中，所述照射光包括选自X射线、紫外线、可见光、红外线、毫米波或微波的电磁波。5.根据权利要求2或3所述的液体喷头的制造方法，其中，所述基座的材料包括石英玻璃或钠钙玻璃；所述剥离层的材料选自非晶硅、金属、高分子材料、氧化硅、氮化硅、氮化铝或氮化钛。6.根据权利要求2或3所述的液体喷头的制造方法，其中还包括以下步骤: 将...

【专利技术属性】
技术研发人员：周毅，李越，
申请(专利权)人：珠海纳思达电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：