【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于测量石英管长度的治具，用于测量PECVD设备上使用的石英管的长度，属于测量工具领域。
技术介绍
目前，在晶体硅太阳能电池中，氮化硅薄膜作为光学减反射膜，同时起到表面钝化和体内钝化的作用，从而提高太阳能电池的转换效率。因此，对于制备高质量的氮化硅薄膜越来越受到人们的重视。而制备氮化硅薄膜目前行业内普遍采用的是等离子增强化学气相沉积(PECVD)，可以采用现有的设备，如德国R0TH&RAU公司的PECVD设备。在制备氮化硅薄膜过程中，PECVD设备上会用到一种石英管，它使腔体里的真空与外界大气隔绝，同时保证了易爆气体不会接触空气发生爆炸，使得腔体在真空状态下镀膜，提高了制备氮化硅膜的质量。因此，这种石英管的质量倍受重视。由于PECVD设备上的石英管是有使用寿命的，它需要定期更换新的石英管。针对某一种固定的PECVD设备而言，其使用的石英管的长度是固定的，且要求其长度精确到±0.5 mm以内。然而，由于各个生产厂家供应的石英管产品长短不一，且大致误差在± I mm左右，因而无法直接使用，直接影响到了 PECVD设备的正常使用。针对上述问题，现...
【技术保护点】
一种用于测量石英管长度的治具，其特征在于：包括一柱状本体(1)，柱状本体内设有一凹槽(2)，凹槽的两端形成挡板(3)，所述凹槽的主轴与柱状本体的主轴相平行；所述挡板与凹槽主轴相垂直；所述凹槽的长度比待测石英管的长度长0.5~2?mm。
【技术特征摘要】
1.一种用于测量石英管长度的治具，其特征在于包括一柱状本体(1)，柱状本体内设有一凹槽(2)，凹槽的两端形成挡板(3)，所述凹槽的主轴与柱状本体的主轴相平行；所述挡板与凹槽主轴相垂直；所述凹槽的长度比待测石英管的长度长O. 5^2 mm。2.根据权利要求1所述的用于测量石英管长度的治具，其特征在于所述柱状本体为棱柱，其横截面为矩形。3.根据权利要求2所述的用于测量石英管长度的治具，其特征在于所述凹槽的一个侧面...
【专利技术属性】
技术研发人员：张春华，周剑，向宏伟，李栋，高文丽，孟祥熙，辛国军，章灵军，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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