【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于精密隔振
，主要涉及一种柔性膜角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器。
技术介绍
随着超精密加工与测量精度的不断提高，环境振动成为制约超精密加工装备与测量仪器精度和性能提高的重要因素。尤其是步进扫描光刻机为代表的超大规模集成电路加工装备，技术密集度与复杂度极高，关键技术指标均达到了现有技术的极限，代表了超精密加工装备的最高水平，超精密隔振成为此类装备中的核心关键技术；步进扫描光刻机的线宽已达到22nm及以下，硅片定位精度与套刻精度均达到几纳米，而工件台运动速度达到lm/s以上，工件台加速度达到重力加速度的几十倍，这对现有的隔振技术提出了新的挑战。首先，光刻机需要为计量系统与光刻物镜提供“超静”的工作环境，同时又需要驱动工件台以高速度与高加速度运动，这对隔振系统的隔振性能提出了极其苛刻的要求，其三个方向的固有频率均需要达到IHz以下；其次，光刻机各部件之间的相对位置，例如光刻物镜与硅片表面的距离，均具有非常严格的要求，且处于位置闭环反馈控制系统的控制之下，要求隔振器上、下安装板之间的相对位置精度达到10 μ m量级，传统隔振器的定位精度远远不能满足要求...
【技术保护点】
一种柔性膜角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器，由上安装板(1)、下安装板(2)、洁净压缩气源(3)、气管(26)和隔振器主体(4)组成，隔振器主体(4)安装在上安装板(1)与下安装板(2)之间，洁净压缩气源(3)通过气管(26)与隔振器主体(4)连接，其特征在于：所述隔振器主体(4)的结构中，套筒(6)的下表面和下安装板(2)通过轴向承载平面气浮面(21)润滑与支撑，柔性膜(5)安装在套筒(6)的上端，并通过压圈(22)压紧与密封，压板装配体(7)的上压板(7a)与下压板(7b)相对配装于柔性膜(5)的上、下表面，并夹紧柔性膜(5)，上压板(7a)的上表面与上安装板(1)刚性连...
【技术特征摘要】
1.一种柔性膜角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器，由上安装板(I)、下安装板(2)、洁净压缩气源(3)、气管(26)和隔振器主体⑷组成，隔振器主体⑷安装在上安装板⑴与下安装板(2)之间，洁净压缩气源(3)通过气管(26)与隔振器主体(4)连接，其特征在于 所述隔振器主体(4)的结构中，套筒(6)的下表面和下安装板(2)通过轴向承载平面气浮面(21)润滑与支撑，柔性膜(5)安装在套筒(6)的上端，并通过压圈(22)压紧与密封，压板装配体(7)的上压板(7a)与下压板(7b)相对配装于柔性膜(5)的上、下表面，并夹紧柔性膜(5)，上压板(7a)的上表面与上安装板(I)刚性连接；Z向音圈电机(10)、Z向位移传感器(13)与Z向限位开关(16)安装在压板装配体(7)与套筒(6)之间，X向音圈电机(8)、X 向位移传感器(11)、X向限位开关(14)与Y向音圈电机(9)、Y向位移传感器(12)、Υ向限位开关(15)安装在套筒(6)与下安装板(2)之间；Ζ向音圈电机(10)的驱动力方向为竖直方向，X向音圈电机⑶与Y向音圈电机(9)的驱动力方向在水平面内且相互垂直，Χ、Υ、Ζ 向位移传感器(11、12、13)和X、Y、Z向限位开关(14、15、16)的作用线方向与X、Y、Z向音圈电机(8、9、10)的驱动力方向一致；X、Y、Z向位移传感器(11、12、13)和Χ、Υ、Ζ向限位开关(14、15、16)分别与控制器(19)的信号输入端连接，控制器(19)的信号输出端与驱动器 (20)的信号输入端连接，驱动器(20)的信号输出端分别与Χ、Υ、Ζ向音圈电机(8、9、10)连接；在下安装板(2)上表面侧壁沿X向音圈电机(8)驱动力方向安装X向永磁体(40Α)构成X向电磁阻尼器(40)，在下安装板⑵上表面侧壁沿Y向音圈电机(9)驱...
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