炉体排风控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体工艺热处理领域，尤其是涉及一种炉体排风控制装置，包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动，从而执行对风口结构单元的开启和关闭动作。本实用新型专利技术对炉体排风的开关机构进行有效控制，使炉体排风控制可靠安全；同时能够有效阻挡炉体热量的逸出，具有良好的隔热效果；本实用型新的炉体排风控制装置结构简单，能够进行精确运作，且成本较低。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体工艺热处理领域，尤其是涉及一种炉体排风控制装置。
技术介绍
目前在半导体工艺热处理领域中，炉体排风控制装置的结构较复杂，现有排风控制装置的开关机构，多采用轮式往复运动结构或绕固定点旋转式结构，这些结构需要较大的安装及操作空间，结构复杂，缺乏稳定性，对炉体的隔热效果不理想，成本较高，安全隐患较多。为了解决以上问题，本技术做了有益改进。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术的目的是提供一种通过气动单元，准确有效地实现炉体冷却排风的开关控制，并能够实时监控气动单元的动作状态的炉体排风控制装置。(二)技术方案本技术是通过以下技术方案实现的一种炉体排风控制装置，其包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动。具体地，所述的开关机构还包括开关连接部，所述的开关主体与该开关连接部相连；所述的气压驱动单元包括气缸，所述的气缸与所述的开关连接部相连，该气缸通过该开关连接部带动所述的开关主体运动；所述的气缸处于其行程的两个终点位置时，所述的开关主体处于对风口结构单元的开启状态和关闭状态。进一步，所述的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种炉体排风控制装置，其特征在于，其包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动。

【技术特征摘要】
1.一种炉体排风控制装置，其特征在于，其包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动。2.根据权利要求1所述的炉体排风控制装置，其特征在于，所述的开关机构还包括开关连接部，所述的开关主体与该开关连接部相连；所述的气压驱动单元包括气缸，所述的气缸与所述的开关连接部相连，该气缸通过该开关连接部带动所述的开关主体运动；所述的气缸处于其行程的两个终点位置时，所述的开关主体处于对风口结构单元的开启状态和关闭状态。3.根据权利要求2所述的炉体排风控制装置，其特征在于，所述的气压驱动单元还包括气缸连接部，所述的气缸与气缸连接部相连；所述的气缸连接部的端部设置有柱形安装销；所述的开关连接部设有长圆孔，该长圆孔的长度方向为竖直方向，所述的柱形安装销横向地安装在所述的长圆孔中，所述的开关连接部与气缸连接部通过该柱形安装销相连。4.根据权利要求2所述的炉体排风控制装置，其特征在于，所述的气压驱动单元还包括气缸固定架，所述的气缸固定架的端部设有安装通孔，且所述的气缸通过螺母固定在所述的气缸固定架上；旋松所述的螺母，可调整该气缸在气缸动作方向上的位置。5.根据权利要求2所述的炉体排风控制装置，其特征在于，所述的开关机构还包括开关罩板，所述的开关罩板设置在开关主体上；所述的开关连接部与该开关罩板固定连接。6.根据权利要求2所述的炉体排风控制装置，其特征在于，还包括开关状态监控单元；所述的开关状态监控单元上设置有第一位置信号开关、第二位置信号开关和开关触板；所述的开关连接部与所述的开关触板连接，在所述的气缸行程的两个终点，所述的开关连接部带动所述的开关触板，使该开关触板分别触发所述的第一位置信号开关和第二位置信号开关。7.根据权利要求1-6任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙少东，董金卫，赵燕平，钟华，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：