光学设备及光学定址方法技术

技术编号:8561485 阅读:250 留言:0更新日期:2013-04-11 02:35
一种光学设备及光学定址方法,光学设备,用于定址待测的检体,包括光学装置、控制器及处理模块。光学装置包括光源、检体检测装置及位置检测装置。检体检测装置包括第一物镜及第一感测器,光源的光束利用第一物镜聚焦于检体区的检体。位置检测装置包括第二物镜及第二感测器,光源的光束利用第二物镜聚焦于编码区。控制器控制光源的光束聚焦于检体区的检测位置以产生第一光信号至第一感测器,同时控制光源的光束聚焦于编码区的编码位置以产生第二光信号至第二感测器,每一检测位置与对应的编码位置的相对位置相同。处理模块根据第一及第二光信号得到检体的定址信息。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学设备,且特别涉及一种具有定址功能的光学设备。
技术介绍
利用光学方式检测检体时,由于检测的检体的受测点并非单一位置,而常常是多个非固定的位置。然而,受限于受测的检体上无任何规律特征点可供参考,通常只能采取开路测试(open-loop)的方式取像或信号检测,或者是利用光学扫描装置,例如是激光扫描振镜(Galvo mirror)上所配置的检流计(galvanometer)、光学编码器或磁性编码器,输出光学扫描装置目前的扫描位置信息,再利用复杂且非线性的座标转换关系式推算出实际的受测点位置。由于受测点距离上述的位置信息输出点的距离远大于受测检体的维度,使得量测的误差在作非线性座标转换时被放大,造成受测点推算位置与实际位置间的定位精度差。此外,对于需要长时间持续间隔观察的检体试片,一旦检体试片从原来的检测设备移开之后,再次移入观察时会有影像错位的情况发生,不利于检体进行时间变化的前后比对。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种设备,具有检体检测装置及位置检测装置,可以同时取得检体信息及对应于检体信息的位置信息,据以获得检体的定址信息。根据本专利技术的一实施例,提出一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学设备,用于定址检体,检体位于具有检体区及编码区的待测物的该检体区,其特征在于,该光学设备包括:光学装置、控制器及处理模块,其中,该光学装置,包括:光源;检体检测装置,包括第一物镜及第一感测器,该光源的光束利用该第一物镜聚焦于该检体区的检体上;及位置检测装置,包括第二物镜及第二感测器,该光源的光束利用该第二物镜聚焦于该编码区上;该控制器,用以控制该光源的光束聚焦于该检体区的多个检测位置以产生多个第一光信号输出至该第一感测器,且控制该光源的光束聚焦于该编码区的多个编码位置以产生多个第二光信号输出至该第二感测器,每该检测位置与对应的该编码位置之间的相对位置相同;该处理模块,用以根据该些第一光...

【技术特征摘要】
2012.06.13 TW 101121171;2011.10.07 US 61/544,3181.一种光学设备,用于定址检体,检体位于具有检体区及编码区的待测物的该检体区,其特征在于,该光学设备包括光学装置、控制器及处理模块,其中,该光学装置,包括光源;检体检测装置,包括第一物镜及第一感测器,该光源的光束利用该第一物镜聚焦于该检体区的检体上 '及位置检测装置,包括第二物镜及第二感测器,该光源的光束利用该第二物镜聚焦于该编码区上;该控制器,用以控制该光源的光束聚焦于该检体区的多个检测位置以产生多个第一光信号输出至该第一感测器,且控制该光源的光束聚焦于该编码区的多个编码位置以产生多个第二光信号输出至该第二感测器,每该检测位置与对应的该编码位置之间的相对位置相同;该处理模块,用以根据该些第一光信号及该些第二光信号,以得到该检体的定址信息。2.根据权利要求1所述的光学设备,其特征在于,该光源包括第一光源,提供具有第一波长的光束;以及第二光源,提供具有第二波长的光束,该些第一光信号由该第一光源的光束聚焦于该些检测位置后产生,该些第二光信号由该第二光源的光束聚焦于该些编码位置后产生。3.根据权利要求1所述的光学设备,其特征在于,该光源的光束聚焦于该检体后产生该第一光信号,该光源的光束聚焦于该编码区后产生该第二光信号,第二光信号的波长与该第一光信号的波长不相同。4.根据权利要求1所述的光学设备,其特征在于,该处理模块包括处理单元,耦接至该第一感测器及该第二感测器,以接收该些第一光信号及该些第二光信号,并据以得到检体信息及对应该检体信息的位置信息;运算器,耦接至该控制器及该处理单元,用以命令该控制器调整该光源的光束的聚焦位置,并接收该位置信息以计算该定址信息;以及储存单元,耦接至该运算器,用以储存该定址信息。5.根据权利要求1所述的光学设备,其特征在于,该光学装置还包括一第一分光元件,用以将该光源的光束传递至该检体区,且将该些第一光信号传递至该第一感测器;以及第二分光元件,用以将该光源的光束传递至该编码区,且将该些第二光信号传递至该第二感测器。6.根据权利要求5所述的光学设备,其特征在于,该第一分光兀件为双色分光镜。7.根据权利要求5所述的光学设备,其特征在于,该第二分光兀件为极化分光镜,该光学设备还包括四分之一波板,设置于该第二分光元件与该第二物镜之间。8.根据权利要求1所述的光学设备,其特征在于,该些编码位置对应至多个微结构,该光源的光束聚焦于该些编码位置时,是经由该些微结构反射为该些第二光信号。9.根据权利要求8所述的光学设备,其特征在于,该些微结构包括圆孔、长孔及沟轨至少一者。10.根据权利要求1所述的光学设备,其特征在于,该些编码位置包括不同反射率或不同光学极化方向的多个位置编码信息。11.根据权利要求1所述的光学设备,其特征在于,该检体区及该编码区相邻而设。12.根据权利要求1所述的光学设备,其特征在于,该控制器包括致动器,该第一物镜及该第二物镜设置于该致动器上且受到该致动器的控制,沿垂直于该光源的光轴及平行于该光源的一光轴的方向移动。13.根据权利要求1所述的光学设备,其特征在于,该控制器包括致动器,用以控制该待测物或...

【专利技术属性】
技术研发人员:刁国栋朱朝居吴国瑞黄戴廷李源钦蔡荣源
申请(专利权)人:财团法人工业技术研究院
类型:发明
国别省市:

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