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光学设备及光学定址方法技术
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文档序号:8561485
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一种光学设备及光学定址方法,光学设备,用于定址待测的检体,包括光学装置、控制器及处理模块。光学装置包括光源、检体检测装置及位置检测装置。检体检测装置包括第一物镜及第一感测器,光源的光束利用第一物镜聚焦于检体区的检体。位置检测装置包括第二物镜...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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