高精度硅传感器金属细管切割装置制造方法及图纸

技术编号:8557133 阅读:173 留言:0更新日期:2013-04-10 18:33
本发明专利技术提供的一种高精度硅传感器金属细管切割装置,包括用于切割金属细管的切割组件、用于对金属细管进行顶紧的顶紧组件、用于固定安装切割组件与顶紧组件的旋转盘、用于对金属细管进行夹持定位的定位组件以及用于固定安装定位组件的安装座,所述旋转盘外套于所述定位组件且可绕定位组件转动,所述切割组件与顶紧组件对称设置有所述旋转盘;本发明专利技术提供的高精度硅传感器金属细管切割装置,在切割过程中不产生任何的铁屑、粉尘以及蒸汽,有效避免了铁屑、粉尘以及蒸汽对传感器的芯片及电路造成损坏;在切割的过程中切刀是通过细牙螺纹螺杆推进,进给量易于控制,不会由于大的进给量导致细管内侧卷边从而堵塞中心孔。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种机械领域的切割装置,尤其涉及一种高精度硅传感器金属细管切 割装置。
技术介绍
目前对高精度硅传感器金属细管的切割,主要包括车床上用车刀切割、锯床上用 传统锯片切割、手动砂轮机或者专用的砂轮机上用砂轮片切割以及利用现代化的高科技设 备如激光切割机或者电子束切割机切割等等。以上这些切割方式方法都会产生一个严重的 问题,比如车床上切割、锯床上切割会产生铁屑,手动砂轮机或者自动砂轮机切割会产生粉 尘,激光切割和电子束切割会产生一定量的金属蒸汽。这些铁屑、粉尘以及金属蒸汽很容易 污染硅芯片从而导致硅芯片上的线路短路,因此传统和现代的切割方法均不可使用。因此,需要提出一种新型的用于对硅传感器金属细管的切割装置,在切割过程中 不产生任何的铁屑、粉尘以及金属蒸汽,在切割的过程中进给量易于控制,不会由于大的进 给量导致细管内侧卷边从而堵塞中心孔,并且金属细管的长度控制精确。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术提供的一种高精度硅传感器金属细管切割装置,在切割过程中 不产生任何的铁屑、粉尘以及金属蒸汽,在切割的过程中进给量易于控制,不会由于大的进 给量导致细管内侧卷边从而堵塞中心孔,并且金本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度硅传感器金属细管切割装置,其特征是:包括用于切割金属细管的切割组件、用于对金属细管进行顶紧的顶紧组件、用于固定安装切割组件与顶紧组件的旋转盘、用于对金属细管进行夹持定位的定位组件以及用于固定安装定位组件的安装座,所述旋转盘外套于所述定位组件且可绕定位组件转动,所述切割组件与顶紧组件对称设置有所述旋转盘。

【技术特征摘要】
1.一种高精度硅传感器金属细管切割装置,其特征是包括用于切割金属细管的切割组件、用于对金属细管进行顶紧的顶紧组件、用于固定安装切割组件与顶紧组件的旋转盘、用于对金属细管进行夹持定位的定位组件以及用于固定安装定位组件的安装座,所述旋转盘外套于所述定位组件且可绕定位组件转动,所述切割组件与顶紧组件对称设置有所述旋转盘。2.根据权利要求1所述高精度硅传感器金属细管切割装置,其特征是所述切割组件包括槽型结构的切割定位块、两个平行固定设置于切割定位块的槽内且与所述旋转盘上表面平行的导向柱、设置于所述切割定位块的槽内可与导向柱滑动配合的切割滑块、圆盘状结构的切刀以及设置于所述切割滑块的用于安装切刀的切刀固定杆,还包括设置于切割定位块用于推进切割滑块沿导向柱运动的切割螺纹杆,所述切刀以可转动的方式固定设置于所述切刀固定杆。3.根据权利要求2所述高精度硅传感器金属细管切割装置,其特征是所述定位组件包括竖直固定设置于所述安装座的管状结构的定位轴、固定设置于定位轴的用于夹持金属细管的弹簧夹头以及外套于弹簧夹头且与弹簧夹头螺纹配合的螺纹套。4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:张茂
申请(专利权)人:重庆川仪自动化股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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