【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及制造小型装置的方法、用于使用激光来处理小型装置的 部件的激光处理方法、以及实现这种激光处理方法的激光处理设备。
技术介绍
随着电子设备的小型化，对在电子设备中使用的小型装置的小型化 的要求日益增长。因此，需要使得能够精确地处理微观结构的处理技术。 例如，作为在电子设备中使用的小型装置的一个示例，振动陀螺仪可以 作为角速度传感器(陀螺传感器)而安装在汽车导航系统中。振动陀螺仪是位置检测传感器，其包括由压电材料制成的作为传感 元件的振动音叉，并且利用当振动音叉旋转时作用在振动音叉上的科里 奥利力来检测当前的位置。由压电材料制成的音叉具有彼此相邻地布置 的驱动电极和用于振动检测的电极。用于振动检测的电极根据音叉的振 动而输出电压。该输出电压是波形取决于音叉的振动的正弦波。为了保 持精确的检测性能，必须将电压波形的有效值控制成小于或等于参考值。一种用于调节电压波形的有效值的示例性方法涉及改变用于振动检 测的电极的面积。应当注意，尽管很难增加电极的面积，但是可以通过 切割掉其一部分来容易地减小电极的面积。因此，在常规实践中，相对 大的用于振动检测的电极最初安...
【技术保护点】
一种装置制造方法，该装置制造方法包括以下步骤：在将激光束照射在装置上的同时以恒定速度移动所述装置；以及利用所述激光束来处理所述装置的一部分。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：嶋田淳吾，十仓史彦，野村进直，
申请(专利权)人：富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]
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