一种晶棒切割固定框制造技术

技术编号:8501567 阅读:168 留言:0更新日期:2013-03-29 22:38
本实用新型专利技术涉及半导体生产技术设备的部件,是晶棒切割固定框,包括固定框本体,固定框本体具有凹槽,其特征是:所述的凹槽是圆弧形的凹槽,所述的凹槽是多个的,所述的凹槽中间设置有纹路,这样的晶棒切割固定框具有生产效率更高、切割的质量更好的优点。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

—种晶棒切割固定框
本技术涉及半导体生产技术设备的部件,具体地说是涉及一种晶棒切割固定 框。
技术介绍
切割半导体晶块是在多线切割机上进行的,固定晶棒的是固定框,固定框将晶棒 定位,现有技术中,固定框是方形的凹槽,这样往往存在着晶棒固定不牢的缺点,影响切割 的效率和质量。
技术实现思路
本技术的目的就是针对上述缺点,提供一种生产效率更高、切割的质量更好 的晶棒切割固定框。本技术的技术方案是这样实现的晶棒切割固定框,包括固定框本体,固定框 本体具有凹槽,其特征是所述的凹槽是圆弧形的凹槽。进一步的讲,所述的凹槽是多个的。进一步的讲,所述的凹槽中间设置有纹路。本技术的有益效果是这样的晶棒切割固定框具有生产效率更高、切割的质 量更好的优点。附图说明图1是本技术晶棒切割固定框的结构示意图。其中1、固定框本体 2、凹槽 3、纹路。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步的描述。如图1所示,晶棒切割固定框,包括固定框本体1,固定框本体I具有凹槽2,其特 征是所述的凹槽2是圆弧形的凹槽。因为晶棒是圆形的,圆弧形的凹槽结合的面积更多,就更牢固,晶棒不易错位,保 证切割的质量。进一步的讲,所述的凹槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
晶棒切割固定框,包括固定框本体,固定框本体具有凹槽,其特征是:所述的凹槽是圆弧形的凹槽。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘宝成
申请(专利权)人:河南恒昌电子有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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