毫米波腔体滤波器的制作方法技术

本发明专利技术为一种毫米波腔体滤波器的制作方法。本发明专利技术使用光刻胶作为辅助材料，使用电镀金属材料作为结构材料，并配合不同图案的掩膜板，采用多层匀胶、逐层光刻并显影、电镀、最终剥离固化的光刻胶的技术，可以精确构造出腔体滤波器复杂的三维金属结构。利用弹性优异的柔性材料PDMS对其进行翻模，构造模具，再对模具进行注塑固化，可以对腔体结构及盖板结构进行快速精确复制，最后将二者进行键合封装，即得到完整的毫米波腔体滤波器。本发明专利技术方法制得的滤波器体积轻巧、精度高、频率高、频带宽、信号容量大，且该滤波器腔体为一体化设置，避免了组装带来的误差，提高了滤波器的性能。本发明专利技术制作方法具有工艺简单、制作精度高等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微波通讯与电子对抗
，具体是一种与微加工工艺密切相关的。
技术介绍
滤波器广泛应用于现代通讯与电子对抗等领域，用以消除所需信号频率以外的杂波和干扰信号，是一种常见的选频器件。滤波器有多种多样的，其中腔体滤波器因其具有结构坚固、工作频段高、损耗低、承受功率高等特点，收到青睐。同时，腔体滤波器是一种纯结构性的器件，其性能指标及可靠性都取决于自身的结构特征。随着无线电频谱资源日益紧张，寻找到并充分利用其他适合的无线电波有着重要的意义。毫米波频率高、频带宽、信号容量大，易于实现窄波束定向辐射等诸多优点，受到人们的越来越多关注和青睐。另外，与工作频率密切相关一个因素是射频器件的尺寸。高频器件尺寸更小，更能满足电子系统小型化和便携化的发展要求。然而，对于体积微小(尺寸为毫米级甚至亚毫米级)的毫米波器件，特别是毫米波腔体滤波器，结构复杂、精度要求极高(要求精度为微米级)，传统加工工艺实现起来相当困难。因此，设计高频段微型化滤波器，研发新型结构的微加工工艺，已成为业界广泛关注的问题。高频滤波器件，由于尺寸较小，精度要求很高，传统机械加工实现起来很难，但随着MEMS (Micro本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种毫米波腔体滤波器的制作方法，毫米波腔体滤波器包括腔体（1）、谐振柱（2）和盖板（3），腔体（1）内设有隔离架（4），隔离架（4）由一个竖隔离壁以及若干个垂直交叉固定在竖隔离壁上的横隔离壁组成，隔离架（4）的一端部与腔体（1）侧板固定、其余各端部与腔体（1）侧板之间留有耦合窗（5）；隔离架（4）将腔体（1）内部空间分割成若干空腔，谐振柱（2）分置收容于各空腔内；谐振柱（2）均分为若干组且各组高度不相同；腔体（1）侧板上开设有同轴馈源入、出口（6、7），与同轴馈源入、出口（6、7）位置对应的一组谐振柱（2）上各固接有一根同轴馈线（8），同轴馈线（8）的另一端穿过同轴馈源入、出口（6、7）后置于...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王万军，段俊萍，张斌珍，张安学，吴淑娟，张勇，王研，姚德启，崔敏，王春水，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：