【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种在半导体器件晶圆测试过程中进行多管芯并行测试时，一种跳格 式垂直式探针卡制作方法，属于半导体测试
技术介绍
随着半导体工艺技术的进步，12时晶圆已经用于生产，晶圆面积增加了，一个晶圆 上可以制作几千个或上万个管芯，为了通过单位时间内增加被测管芯的数量来提高测试机 的吞吐率，减少测试机闲置资源，提高测试设备的利用率，减低测试成本，通常采用多管芯 并行测试技术，多管芯并行测试技术是指在一台测试机上可同时对多个半导体管芯进行全 自动检测，通过专门设计制作的探针卡可以同时连接到多个管芯的引脚上，使得测试机可 以同时进行多个管芯的测试，并记录多个芯片的测试结果；探针卡是进行管芯测试的重要部件，主要目的是将探针卡上的探针直接与管芯上 的铝垫(pad)或凸块(bump)直接接触，引出管芯信号，再配合测试系统与测试软件控制达 到自动化量测的目的。多管芯并行测试时对含有射频模块的管芯，测试稳定性差，晶圆良率不理想，测试 效率低下；因此，如何解决含有射频模块的器件实现多管芯并行测试，成为本领域技术人员 亟待解决的关键技术问题之一。
技术实现思路
本专利技术的...
【技术保护点】
一种跳格式探针卡制作方法其特征在于；垂直式探针卡可以实现多种排列方式；被测管芯每个铝垫对应一个探针；其特征在于：探针卡制作方式是跳格式排列，奇数行隔一个管芯制作探针，偶数行不制作探针。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：石志刚，张琳，吉国凡，
申请(专利权)人：北京确安科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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