激光反射镜制造技术

本实用新型专利技术提供一种激光反射镜，包括基底层，所述基底层上依次设有由多层四分之一光学厚度薄膜层构成的高反射膜堆、由多层二分之一光学厚度薄膜层构成的连接膜堆、由多层四分之一光学厚度薄膜层构成的激光抵抗膜堆和由多层二分之一光学厚度薄膜层构成的保护膜堆。本实用新型专利技术的有益效果是，设有激光抵抗膜堆，可以有效的将激光对反射膜堆的损伤降低，因此高反射膜堆可以充分的发挥其高反射的能力而不必考虑激光损伤，这样可以使得高反射膜堆选择使用适当的薄膜材料完成高反射的任务，可以减少薄膜的层数同时又能达到传统激光反光镜的要求，使得本实用新型专利技术的激光反光镜总体的镀膜厚度降低，节省材料，同时因降低镀膜的层数而提高生产的速度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

激光反射镜
本技术涉及激光反射镜领域，尤其涉及一种具有高损伤阈值高反射率的激光反射镜。
技术介绍
在高功率激光系统中，光学薄膜是一个非常重要而又是最易损伤的薄弱环节，随着激光器输出功率和能量的不断提高，对激光器谐振腔反射镜的反射率和损伤阈值提出了越来越高的要求，传统的全介质激光反射镜通常采用高低折射率两种氧化物材料，按照规整的四分之一光学厚度交替叠加，反射率的高低决定于两种材料折射率的差值和叠加的膜层数，折射率差值越大，叠加膜层数越多，理论上获得的反射率就越高，但实际上膜层的层数不可能无限的增加，最高可达到的反射率要受到膜层吸收和散射损耗的限制。而且层数越多，膜层应力越大，引入节瘤缺陷的几率也越大，镀制成本也会随之增加。从激光对薄膜的破坏角度来说，膜层材料应具有高的抗激光损伤阈值，没有高的阈值，获得再高的反射率也没有实用价值。传统上高损伤阈值激光反射镜制造，主要是在膜层材料上选用耐损伤能力强的高低折射率薄膜材料组合如Hf02/Si02，Y203/Si02，通过规整的四分之一光学厚度交替叠加来同时实现高的反射率要求。SiO2在工作波长上吸收系数很小，呈均匀的微粒生长，具有极高的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光反射镜，包括基底层，其特征在于，所述基底层上依次设有由多层四分之一光学厚度薄膜层构成的高反射膜堆、由多层二分之一光学厚度薄膜层构成的连接膜堆、由多层四分之一光学厚度薄膜层构成的激光抵抗膜堆和由多层二分之一光学厚度薄膜层构成的保护膜堆。

【技术特征摘要】
1.一种激光反射镜，包括基底层，其特征在于，所述基底层上依次设有由多层四分之一光学厚度薄膜层构成的高反射膜堆、由多层二分之一光学厚度薄膜层构成的连接膜堆、由多层四分之一光学厚度薄膜层构成的激光抵抗膜堆和由多层二分之一光学厚度薄膜层构成的保护膜堆。2.根据权利要求I所述的激光反射镜，其特征在于，所述高反射膜堆由高折射率薄膜层和低折射率薄膜层依次交替叠加组成，所述高折射率薄膜层是TiO2薄膜层、Nb2O5薄膜层和Ta2O5薄膜层中的一种，所述低折射率薄膜层是SiO2薄膜层。3.根据权利要求2所述的激光反射镜，其特征在于，所述高反射膜堆最外侧与所述连...

【专利技术属性】
技术研发人员：卜轶坤，关振奋，吴冠伟，张慎兴，
申请(专利权)人：晋谱福建光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：