点测装置的寻边器制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种点测装置的寻边器，包含有一座体、一悬臂件，以及一连接于所述座体与所述悬臂件之间的弹性片，所述寻边器的特征在于：所述弹性片具有一最大表面，且所述弹性片以其最大表面实质上垂直所述悬臂件的长轴方向的方式，连接于所述座体与所述悬臂件之间。由此，当一螺丝被锁设于悬臂件，以将一探针固定于悬臂件时，可避免弹性片因锁设螺丝时用力过度而塑性变形。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

点测装置的寻边器
本技术与利用探针(probe)检测诸如发光二极管等半导体晶粒性能的点测装置(prober)有关，特别是指一种点测装置的寻边器(edge sensor) 0
技术介绍
点测装置是一种利用探针检测诸如发光二极管等半导体晶粒性能表现或特性参数的设备。在点测作业进行时，假使探针针压(probing force)过大,可能会造成晶粒表面损伤，也容易造成探针磨损，而一旦针压过小，可能造成探针与晶粒接点接触不良，进而影响点测结果，因此，探针针压的设定、监测与调整，一直都是点测作业进行时需格外注意的事项。利用搭载于点测装置中的寻边器，可达到确保探针能确实接触并在待测晶粒的接点施加一定压抵力量的目的。如图I及图2所不，习用的寻边器100包含有一座体110、一悬臂120、一弹性片130，以及一设置于悬臂120 —端的探针140。弹性片130实质上是以水平的姿态连接于座体110与悬臂120之间，详而言之，弹性片130的一端部固接于座体110 底面，悬臂120的中段固接于弹性片130的另一端部底面。此外，悬臂120与座体110之间设有一可调预力施加器150，以及二分别固设于悬臂120及座体110的导电体160、170，二导电体160、170受预力施加器150施加的预力作用而保持接触并电导通。通过一可垂直往复运动的进给机构带动寻边器100下降或使一承载待测物的承载台上升，探针140可相对待测物由上而下地接触该待测物，在持续进给的过程中，一旦该待测物施加给探针140的反作用力克服该预力时，将造成悬臂120摆动且弹性片130弹性弯曲变形，使得二导电体160、170相互分离而断路，同时，点测装置一旦侦测到二导电体 160、170断路的讯号则立即停止前述进给动作。由此，寻边器100不但可确保探针140与待测物有效接触，且可避免探针140对待测物所施的针压过大而造成待测物或探针140损伤。然而，在装设探针140或更换探针140时，操作员是利用螺丝180由上而下地将探针140锁设固定于悬臂120的一端,过程中，由于其施力方向为垂直于弹性片130的设置方向，即对弹性片130施加一弯曲力量(bending force),相当容易因施力过大而造成弹性片 130塑性弯曲变形，进而影响针压设定值，而必须进一步更换弹性片130。换言之，习用的寻边器的弹性片设置方式以及探针的固定方式实有其不足之处，而有待改进。
技术实现思路
针对上述问题，本技术的主要目的在于提供一种点测装置的寻边器，其可改善习用寻边器的弹性片容易塑性弯曲变形的缺点。为达到上述目的，本技术所提供的一种点测装置的寻边器，包含有一座体、一悬臂件，以及一连接于所述座体与所述悬臂件之间的弹性片，所述寻边器的特征在于所述弹性片具有一最大表面，且所述弹性片以其最大表面实质上垂直所述悬臂件的长轴方向的方式，连接于所述座体与所述悬臂件之间。上述本技术的技术方案中，所述座体具有一前侧面，所述弹性片具有一前表面及一后表面，所述后表面固接于所述座体的前侧面，所述悬臂件具有位于所述座体下方的一前悬臂及一后悬臂，所述前悬臂具有一前端及一后端，所述后端固接于所述弹性片的前表面，所述前端用于装设一探针，所述后悬臂与所述前悬臂相对固定。所述后悬臂的一前端固接于所述弹性片的后表面。所述前悬臂与所述后悬臂一体连接。所述弹性片具有一镂空部；所述弹性片的镂空部对应至所述座体与所述悬臂件之间的空隙。所述弹性片具有一固定于所述座体的上半部、一固定于所述悬臂件的下半部，以及一位于所述上下、半部之间的镂空部。所述座体具有一前侧面，所述弹性片的上半部固定于所述座体的前侧面。所述悬臂件包含有相互固接的一前悬臂与一后悬臂，且所述弹性片的下半部夹置固定于所述前悬臂与所述后悬臂之间。所述弹性片具有一上半部以及一下半部，所述弹性片的上半部固定于所述座体； 所述悬臂件包含有相互固接的一前悬臂与一后悬臂，且所述弹性片的下半部夹置固定于所述前悬臂与所述后悬臂之间。所述弹性片还具有一位于所述上下、半部之间的长条形镂空部，且所述镂空部的长轴方向实质上垂直于所述悬臂件的长轴方向。所述悬臂件的前悬臂装设有一探针，且所述前悬臂具有一定位孔以及一卡扣部； 所述探针具有一长条状身部、一连接于所述长条状身部的一端且向下延伸的针尖部，以及一连接于所述长条状身部的另一端且向下延伸的定位部；所述探针的定位部插置于所述前悬臂的定位孔中，且所述探针的长条状身部为弹性弯曲地卡抵于所述前悬臂的卡扣部。所述前悬臂具有一本体，所述本体具有一顶面；所述定位孔自所述本体的顶面向下延伸，所述卡扣部衔接于所述本体并具有一面向下方的卡抵面；所述探针的长条状身部卡抵于所述卡扣部的卡抵面；所述前悬臂的卡扣部具有一向下方开放的卡槽，所述卡槽的槽壁形成所述卡扣部的卡抵面；所述前悬臂的卡扣部具有一与所述前悬臂的本体衔接的向上延伸段，以及一与所述向上延伸段衔接的横向延伸段，所述卡抵面位于所述横向延伸段的底部。所述前悬臂的定位孔的轴向实质上垂直所述前悬臂的本体的顶面，所述探针的定位部为相对所述长条状身部弯折一预定角度地向下延伸，且前述预定角度实质上大于90 度且小于135度。所述探针的定位部实质上相对所述长条状身部垂直弯折地向下延伸，所述前悬臂的定位孔为相对所述前悬臂本体的顶面倾斜延伸，且所述定位孔的轴向与所述顶面的一法线相交一大于O度且小于45度的夹角。所述悬臂件的前悬臂固设有一探针，所述探针具有一定位部，所述定位部插设于所述前悬臂的一定位孔中。采用上述技术方案，本技术当操作员将螺丝由上而下地锁设于悬臂件，以将一探针固定于悬臂件上时，其施力方向为平行于弹性片的设置方向，换言之，前述施力是对弹性片施加一拉伸力量，较可能使弹性片拉伸变形而非弯曲变形，而弹性片的抗拉强度远大于抗弯强度，因此弹性片不易因操作员锁设螺丝时用力过度而塑性变形。本技术通过改变探针的固定方式，使得探针不需借助固定螺丝即能固定在前悬臂上，更可确保弹性片不易塑性弯曲变形。而且本技术通过对探针的定位部与定位孔的结构搭配设计，使得探针的定位部插置于定位孔中时，探针的长条状身部可相对针座本体的顶面倾斜地向上延伸，使长条状身部在受一外力压抵之后，可以向下塑性弯曲变形而卡抵于卡扣部，并通过其弹性回复力而定位。附图说明图I是习用的点测装置的寻边器的立体组合图；图2是图I所示的寻边器的侧视图；图3是本技术一较佳实施例所提供的点测装置的寻边器设于点测装置的一进给单元的立体组合图；图4是本技术该较佳实施例所提供的点测装置的寻边器与该进给单元的立体分解图；图5及图6是本技术该较佳实施例所提供的点测装置的寻边器作用于一待测物的侧视图；图7是本技术一第二较佳实施例所提供的点测装置的寻边器的侧视图，显示该寻边器的一探针与一前悬臂未相互卡接固定的状态；图8是本技术该第二较佳实施例所提供的点测装置的寻边器的前悬臂与探针的立体分解图；图9类同于图7，显示该寻边器的探针与前悬臂相互卡接固定的状态；图10是本技术一第三较佳实施例所提供的点测装置的寻边器的侧视图，显示该寻边器的一探针与一前悬臂未相互卡接固定的状态。具体实施方式为了详细说明本技术的结构、特点及功效，现举以下较佳实施例并配合附本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种点测装置的寻边器，包含有一座体、一悬臂件，以及一连接于所述座体与所述悬臂件之间的弹性片，所述寻边器的特征在于：所述弹性片具有一最大表面，且所述弹性片以其最大表面实质上垂直所述悬臂件的长轴方向的方式，连接于所述座体与所述悬臂件之间。

【技术特征摘要】
1.一种点测装置的寻边器，包含有一座体、一悬臂件，以及一连接于所述座体与所述悬臂件之间的弹性片，所述寻边器的特征在于 所述弹性片具有一最大表面，且所述弹性片以其最大表面实质上垂直所述悬臂件的长轴方向的方式，连接于所述座体与所述悬臂件之间。2.如权利要求I所述的点测装置的寻边器，其特征在于所述座体具有一前侧面，所述弹性片具有一前表面及一后表面，所述后表面固接于所述座体的前侧面，所述悬臂件具有位于所述座体下方的一前悬臂及一后悬臂，所述前悬臂具有一前端及一后端，所述后端固接于所述弹性片的前表面，所述前端用于装设一探针，所述后悬臂与所述前悬臂相对固定。3.如权利要求2所述的点测装置的寻边器，其特征在于所述后悬臂的一前端固接于所述弹性片的后表面。4.如权利要求2所述的点测装置的寻边器，其特征在于所述前悬臂与所述后悬臂一体连接。5.如权利要求I至4中任一项所述的点测装置的寻边器，其特征在于所述弹性片具有一镂空部；所述弹性片的镂空部对应至所述座体与所述悬臂件之间的空隙。6.如权利要求I所述的点测装置的寻边器，其特征在于所述弹性片具有一固定于所述座体的上半部、一固定于所述悬臂件的下半部，以及一位于所述上下、半部之间的镂空部。7.如权利要求6所述的点测装置的寻边器，其特征在于所述座体具有一前侧面，所述弹性片的上半部固定于所述座体的前侧面。8.如权利要求6或7所述的点测装置的寻边器，其特征在于所述悬臂件包含有相互固接的一前悬臂与一后悬臂，且所述弹性片的下半部夹置固定于所述前悬臂与所述后悬臂之间。9.如权利要求I所述的点测装置的寻边器，其特征在于所述弹性片具有一上半部以及一下半部，所述弹性片的上半部固定于所述座体；所述悬臂件包含有相互固接的一前悬臂与一后悬臂，且所述弹性片的下半部夹置固定于所述前悬臂与所述后悬臂之间。10.如权利要求9所述的点测...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪嘉宏，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：